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業界最小
インライン測定・エアパーティクルセンサ

外気の吸引に高性能ファンを採用することで、長時間の常時測定を可能にしました。センシング部には、半導体レーザと高感度光学設計により、0.3μmの微粒子測定を実現しています。

ZN-PD 特長 3 インライン測定・エアパーティクルセンサ

パーティクル量を一目で確認

センシング部には、クリーン度が一目で視認できるパーティクルトレンド表示を搭載。
アンプ部は、0.3μm/0.5μm/1.0μmの微粒子を数字で表示。
しきい値を設定すれば、任意のパーティクル量で、信号を出力できます。

ZN-PD 特長 6 エアパーティクルセンサZN-PDでパーティクル量を一目で確認

パーティクル量を画面表示&データロギング

別売のインターフェースユニットと専用ソフトで、簡単に計測値をパソコンにロギングできます。
パーティクルを時系列にセンシングすることによって品質改善のデータとして活用できます。

ZN-PD 特長 9 エアパーティクルセンサZN-PDでパーティクル量を画面表示&データロギング

リアルタイム・クリーンエアモニタ

パーティクルの濃度を色によって視認できるカラーグラフ、個数表示、トレンドグラフなど、多彩な画面表示と、パーティクルセンサ、インターフェースユニットの設定もPCから行えます。
測定したデータはリアルタイムでロギングし、csv.ファイルで表計算ソフトなどで加工できます。

ZN-PD 特長 12 エアパーティクルセンサZN-PDのリアルタイム・クリーンエアモニタ

多点計測で品質改善【PAT出願中】

10台までのパーティクルセンサと、9台までのエアクリーンユニットを、1つのインターフェースユニットとリアルタイム・クリーンエアモニタでコントロール。面倒な電源投入順序などの制限はありません。
工程毎のクリーン度管理ができ、品質データと関連づけて常時監視が可能です。

ZN-PD 特長 15 エアパーティクルセンサZN-PDによる多点計測で品質改善

インライン用途に最適

設置はDINレールに簡単取りつけ。
電源もDC24V対応でインライン用途向けに開発しました。
外部出力は注意/警報の2段階で可能。
インラインでの傾向管理用途として、お使いください。

ZN-PD 特長 18 エアパーティクルセンサZN-PDはインライン用途に最適