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• 半導体FOUPカセットの規格に準拠し、底面の材質・色・反射率の影響を受けずに、FOUPカセットの着荷を確実に検出
• 薄型設計により、搬送アームなどにも搭載可能
• 4方向の表示灯により視認性を向上
• アクチュエータの動作を光学的に検出するため長寿命（機械的寿命500万回以上）
• NPN/PNP両出力タイプをラインナップ
• 屈曲性に優れたロボットコードタイプもラインナップ
EE-SA701 / 801
FOUP着座センサ 押ボタンタイプ
情報更新 : 2010/08/23
情報更新 : 2010/08/23
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