システム

NASP-FX/FXC スーパー
NASP 		スーパー
NASPカラー 		スーパー
NASP-SF 		スーパー
NASP-SF/C
カラー/モノクロ モノクロ モノクロ カラー/モノクロ
混在可能		 反射：モノクロ
透過：モノクロ		 反射：カラー
透過：モノクロ
最大カメラ数 30台 120台 120台 120台 120台
最大ビーム数 2 8 8 8 8
スジ検出ロジック △（オプション） ○ ○ ○ ○
ストリーク
検出ロジック 		× △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
欠陥種別判別 △
（再生端末オプション）		 ○ ○ ○ ○
地合画像 × ○ ○ ○ ○
オンライン再生端末 △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
オフライン再生端末 × △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
外部データ保存 × △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
種別学習 △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
検査シミュレーション × △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
レーザポインタでの
カメラ動作チェック 		× △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
ＰＣリリーフ × △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
PLC仮検査 × △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
PLC二重化 × △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
DC電源二重化 × △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）
上位通信 △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション） △（オプション）

※ＮＡＳＰ-ＦＸＣは中国限定発売です。

注：システム構成により選択できないオプションもあります。
　：PLC二重化は、CPUユニット・DC電源ユニットのみになります。
　：DC電源二重化は、一部二重化できない電源もあります。

検査部

N200X S200X S400X C200X C240X C440X
モノクロ/カラー モノクロ モノクロ モノクロ カラー カラー カラー
CCDセル数 2048 2048 4096 2048×3 2048×3 4096×3
CCD方式 1ライン 1ライン 1ライン 3ライン 3ライン 3ライン
セルサイズ（μｍ） 10×10 14×14 10×10 14×14 14×14 10×10
駆動周波数（MHz） 32 40/60 40/60 25 40 *1 40 *2
最小走査周期（μs） 75 60/40 119/80 100 60 *1 119 *2
オートゲインコントロール 自動絞りレンズ ○ ○ ○ ○ ○
NASP-FX/FXC ○ ○ ○ − − ―
スーパーNASP ○ ○ ○ ○ ○ ○

*1　スーパーＮＡＳＰ-SFでモノクロ検査の場合は、40/60MHz　60/46μs
*2　スーパーＮＡＳＰ-SFでモノクロ検査の場合は、40/60MHz　119/84μs