センサヘッド部（反射形）
| 形式 | 形ZX-LD40 | 形ZX-LD100 | 形ZX-LD300 | 形ZX-LD30V | 形ZX-LD40L | 形ZX-LD100L | 形ZX-LD300L | 形ZX-LD30VL |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学方式 | 拡散反射 | 正反射 | 拡散反射 | 正反射 | ||||
| 光源（発光波長） | 赤色半導体レーザ（波長650nm、1mW以下） | |||||||
| レーザクラス | クラス1（JIS、IEC/EN、GB/T）
クラス2（FDA） |
|||||||
| 測定中心距離 | 40mm | 100mm | 300mm | 30mm | 40mm | 100mm | 300mm | 30mm |
| 測定範囲 | ±10mm | ±40mm | ±200mm | ±2mm | ±10mm | ±40mm | ±200mm | ±2mm |
| ビーム形状 | スポット | ライン | ||||||
| ビーム径 ＊1 | φ50μm | φ100μm | φ300μm | φ75μm | 75μm×2mm | 150μm×2mm | 450μm×2mm | 100μm×1.8mm |
| 分解能 ＊2 | 2μm | 16μm | 300μm | 0.25μm | 2μm | 16μm | 300μm | 0.25μm |
| リニアリティ ＊3 | ±0.2%F.S.
（全範囲） |
±0.2%F.S.
（80～120mm） |
±2%F.S.
200～400mm） |
±0.2%F.S.
（全範囲） |
±0.2%F.S.
（32～48mm） |
±0.2%F.S.
（80～120mm） |
±2%F.S.
（200～400mm） |
±0.2%F.S.
（全範囲） |
| 温度特性 ＊4 | 0.03%F.S./℃（ただし形ZX-LD300/形ZX-LD300Lは0.1%F.S./℃） | |||||||
| 使用周囲照度 | 受光面照度 白熱ランプ：3,000lx以下 | |||||||
| 周囲温度範囲 | 動作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃（ただし、氷結、結露しないこと） | |||||||
| 周囲湿度範囲 | 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと） | |||||||
| 絶縁抵抗 | 20MΩ以上（DC500Vメガにて） | |||||||
| 耐電圧 | AC1,000V 50/60Hz 1min | |||||||
| 振動（耐久） | 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Y、Z各方向 80min | |||||||
| 衝撃（耐久） | 300m/s2 6方向 各3回（上下、左右、前後） | |||||||
| 保護構造 | IEC規格 IP50 | IEC規格 IP40 | IEC規格 IP50 | IEC規格 IP40 | ||||
| 接続方式 | コネクタ中継タイプ（標準コード長500mm） | |||||||
| 質量（梱包状態） | 約150g | 約250g | 約150g | 約250g | ||||
| 材質 | ケース：ポリブチレンテレフタレート、
カバー：アルミ、 レンズ部：ガラス |
ケース、カバー：アルミ
レンズ部：ガラス |
ケース：ポリブチレンテレフタレート、
カバー：アルミ、 レンズ部：ガラス |
ケース、カバー：アルミ
レンズ部：ガラス |
||||
| 付属品 | 取扱説明書、レーザ警告ラベル（英字） | |||||||
注. 反射率が高い物体の場合、測定範囲外で誤検出する場合があります。
＊1. ビーム径：測定中心距離の値（実力値）で、 中心光強度の1/e² （13.5％）で定義しています。
定義域外に漏れ光があり、対象物の周囲が対象物に比べて反射率が高い場合、誤検出する場合があります。
＊2. 分解能：形ZX-LDAに接続した場合のリニア出力のゆらぎの幅（±3σ）を示します。
（形ZX-LDAの平均回数を4,096回に設定し、当社標準対象物（白セラミック）を中心距離とした場合の測定値を示します。）
ワークが静止状態の繰り返し精度を示す物で、距離精度を示すものではありません。
強い電磁界内では、分解能の性能が満足できない場合があります。
＊3. リニアリティ：当社標準対象物測定時における変位出力の理想直線に対する誤差を示します。
対象物によって、直線性や測定値が変わることがあります。
＊4. 温度特性：センサ部と対象物（当社標準対象物）の間をアルミの治具で固定した場合の値です。（測定中心距離で測定）
センサヘッド部（透過形）
| 形式 | 形ZX-LT001 | 形ZX-LT005 | 形ZX-LT010 | 形ZX-LT030 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学方式 | 透過形 | |||||
| 光源（発光波長） | 赤色半導体レーザ（波長650nm） | |||||
| 最大出力 | 0.2ｍW以下 | 0.35mW以下 | 0.2ｍW以下 | |||
| レーザクラス | クラス1（JIS、IEC/EN、GB/T）
クラス2（FDA） |
|||||
| 測定幅 | φ1mm | φ1～2.5mm | 5mm | 10mm | 30mm | |
| 測定距離 | 0～500mm | 500～2,000mm | 0～500mm | |||
| 最小検出物体 | φ8μm不透明体 | φ8～50μm不透明体 | φ0.05mm不透明体 | φ0.1mm不透明体 | φ0.3mm不透明体 | |
| 分解能 ＊1 | 4μm ＊2 | ―― | 4μm ＊3 | 12μm ＊4 | ||
| 温度特性 | 0.2%F.S./℃ | 0.3%F.S./℃ | ||||
| 使用周囲照度 | 受光面照度 白熱ランプ：10,000lx以下 | |||||
| 周囲温度範囲 | 動作時：0～+50℃、保存時：-25～+70℃（ただし、氷結、結露しないこと） | |||||
| 保護構造 | IEC規格 IP40 | |||||
| 接続方式 | コネクタ中継タイプ（標準コード長500mm） | |||||
| コード延長 | 専用延長コードにて10mまで延長可能 | |||||
| 質量（梱包状態） | 約220g | 約450g | ||||
| 材質 | ケース：ポリエーテルイミド、ケースカバー：ポリカーボネート、前面カバー：ガラス | ケース、ケースカバー：亜鉛ダイカスト、前面カバー：ガラス | ||||
| 締め付けトルク | 0.3N･m以下 | ―― | ||||
| 付属品 | 光軸調整シール、センサヘッド部-アンプユニット部接続コード（1.5m）、取扱説明書 | 取りつけ金具、センサヘッド部-アンプユニット部接続コード、取扱説明書 | ||||
＊1. アンプユニット部に接続した際のリニア出力のゆらぎ幅（±3σ）を検出幅に換算した値です。
＊2. 平均回数64回の場合。32回では5μmです。検出幅φ1mmの中心付近を最小検出物体が遮光した値です。
＊3. 平均回数64回の場合。32回では5μｍです。
＊4. 平均回数64回の場合。32回では15μｍです。
アンプユニット部
| 形式 | 形ZX-LDA11-N | 形ZX-LDA41-N | |
|---|---|---|---|
| 測定周期 ＊1 | 150μs | ||
| 設定可能平均回数 | 1/2/4/8/16/32/64/128/256/512/1,024/2,048/4,096回 | ||
| 温度特性 | 反射形ヘッド接続時：0.01%F.S./℃、透過形ヘッド接続時：0.1%F.S./℃ | ||
| リニア出力 ＊2 | 電流出力時：4～20mA/F.S. 最大負荷抵抗300Ω
電力出力時：±4V（±5V、1～5V ＊3）出力インピーダンス100Ω |
||
| 判定出力（HIGH/PASS/
LOW：3出力） |
NPNオープンコレクタ出力 DC30V 50mA以下
残留電圧1.2V以下 |
PNPオープンコレクタ出力 DC30V 50mA以下
残留電圧2V以下 |
|
| レーザOFF入力/
ゼロリセット入力/ タイミング入力/リセット |
ON時：0V短絡または1.5V以下、
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下） |
ON時：電源電圧 短絡または電源電圧-1.5V以内、
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下） |
|
| 機能 | 測定値表示/現在値・設定値・光量値・分解能表示/スケーリング/表示リバース/表示消灯モード/ECOモード/表示桁数変更/
サンプルホールド/ピークホールド/ボトムホールド/ピーク to ピークホールド/セルフピークホールド/ セルフボトムホールド/アベレージホールド/ディレイホールド/インテンシティーモード/ゼロリセット/ イニシャルリセット/オンディレイタイマ/オフディレイタイマ/ワンショットタイマ/微分/前回値比較/感度選択/ キープ・クランプ切替/しきい値ダイレクト設定/位置決めティーチング/2点ティーチング/オートマチックティーチング/ ヒス幅可変/タイミング入力/リセット入力/モニターフォーカス/リニア出力補正/（A-B）演算 ＊4（A+B）演算 ＊4/ 相互干渉 ＊4/レーザー劣化検知/ゼロリセットメモリ/ゼロリセット時表示/機能ロック |
||
| 表示灯 | 動作表示灯：high（橙色）、pass（緑色）、low（黄色）、7セグデジタルメイン表示（赤色）、
7セグデジタルサブ表示（黄色）、レーザ ON（緑色）、ゼロリセット（緑色）、イネーブル表示（緑色） |
||
| 電源電圧 | DC12～24V±10% リップル（p-p）10%以下 | ||
| 消費電流 | 電源電圧DC24V時、140mA以下（センサ接続時） | ||
| 周囲温度範囲 | 動作時・保存時：各0～+50℃（ただし、氷結、結露しないこと） | ||
| 周囲湿度範囲 | 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと） | ||
| 絶縁抵抗 | 20MΩ以上（DC500Vメガにて） | ||
| 耐電圧 | AC1,000V 50/60Hz 1min | ||
| 振動（耐久） | 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Y、Z各方向 80min | ||
| 衝撃（耐久） | 300m/s2 6方向 各3回（上下、左右、前後） | ||
| 接続方式 | コード引き出しタイプ（標準コード長2m） | ||
| 質量（梱包状態） | 約350g | ||
| 材質 | ケース | ポリブチレンテレフタレート | |
| カバー | ポリカーボネート | ||
| 付属品 | 取扱説明書 | ||
＊1. リニア出力､判定出力の1 回目の応答時間は、（測定周期）×（設定平均回数＋1回）です。（感度固定時）
2回目以降は､記載の測定周期で出力されます。
＊2. 電流・電圧は、アンプユニット底面にあるスイッチで切替えます。
＊3. モニタフォーカス機能にて設定可能です。
＊4. 演算ユニット（形ZX-CAL2）が必要です。2台までの相互干渉を防止できます。
演算ユニット部
| 形式 | 形ZX-CAL2 | |
|---|---|---|
| 適用スマートセンサ
アンプユニット |
形ZX-LDA11-N/41-N/形ZX-EDA11/41/形ZX-TDA11/41 | |
| 消費電流 | 12ｍA以下（アンプユニット部から供給） | |
| 周囲温度範囲 | 動作時：0～＋50℃、保存時：－15～＋60℃（ただし、氷結、結露しないこと） | |
| 周囲湿度範囲 | 動作時・保存時：各35～85％RH（ただし、結露しないこと） | |
| 接続方式 | コネクタタイプ | |
| 耐電圧 | AC1,000V 50/60Hz 1min | |
| 絶縁抵抗 | 100MΩ以上（DC500Vメガにて） | |
| 振動（耐久） | 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Y、Z各方向 80min | |
| 衝撃（耐久） | 300m/s2 6方向 各3回（上下、左右、前後） | |
| 材質 | 表示部 | アクリル |
| ケース | ABS樹脂 | |
| 質量（梱包状態） | 約50g | |
| 付属品 | 取扱説明書 | |
ZX用通信インターフェースユニット部
| 形式 | 形ZX-SF11 | |
|---|---|---|
| 消費電流 | 消費電流60mA以下（アンプユニット部から供給） | |
| 接続アンプユニット形式 | 形ZXシリーズ | |
| 接続アンプユニットバージョン | 形ZX-LDA□1-N Ver. 2.100以上
形ZX-EDA□1 Ver. 1.100以上 形ZX-TDA□1 Ver. 1.000以上 |
|
| アンプユニット接続可能台数 | 最大５台まで（ただし、演算は２台まで） | |
| 通信機能 | 通信ポート | RS-232Cポート（D-SUB 9 ピン コネクタ） |
| 通信プロトコル | CompoWay/F ＊ | |
| 通信速度 | 38,400bps | |
| データ構成 | データビット 8、パリティ なし、スタートビット 1
ストップビット 1、フロー制御 無し |
|
| 表示灯 | 電源：緑、センサ通信中：緑、センサ通信エラー：赤
外部端末通信：緑、外部端末通信エラー：赤 |
|
| 保護回路 | 電源逆接続保護 | |
| 周囲温度範囲 | 動作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃（ただし、氷結、結露しないこと） | |
| 周囲湿度範囲 | 動作時・保存時：35～85%RH（ただし、結露しないこと） | |
| 絶縁抵抗 | 20MΩ以上（DC500V メガにて） | |
| 耐電圧 | AC1,000V 50/60 Hz 1分間 漏れ電流 10mA以下 | |
| 材質 | ケース：ポリブチレンテレフタレート
カバー：ポリカーボネート |
|
| 付属品 | 取扱説明書、クランプ：2個 | |
＊CompoWay/Fの通信仕様については、弊社営業担当まで、お問い合せください。