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2024/05 受注終了

3Z4L V3

レーザマイクロメータ

3Z4L V3

非接触で高精度自動検査を実現するレーザマイクロメータ

※ Web特別価格提供品

※ このページの記載内容は、生産終了以前の製品カタログに基づいて作成した参考情報であり、製品の特長 / 価格 / 対応規格 / オプション品などについて現状と異なる場合があります。ご使用に際してはシステム適合性や安全性をご確認ください。

本体

センサ部

形式 形3Z4L-S501RV3 形3Z4L-S503RV3 形3Z4L-S506RV3 形3Z4L-S512RV3
レーザ光源
(発光波長)
可視光半導体レーザ(650nm、1mW、クラス2)
測定幅 10mm 30mm 60mm 120mm
最小検出物体 Φ 0.05mm Φ 0.3mm Φ 1mm Φ 1mm
レーザ走査範囲 17mm 34mm 64mm 124mm
最小読み取り幅 0.01μm(0.01~
10μmに設定可)
0.02μm(0.02~
100μmに設定可)
0.05μm(0.05~
100μmに設定可)
0.1μm(0.1~
100μmに設定可)
繰り返し精度 ±0.04μm ±0.11μm ±0.36μm ±0.85μm
指示
精度
直線性 全範囲 ±0.5μm ±1.0μm ±3.0μm ±6.0μm
狭範囲 ±(0.3+0.1ΔD)μm
*1 *2
±(0.6+0.1ΔD)μm
*1 *2
±(1.5+0.5ΔD)μm
*1 *2
±(4.0+0.5ΔD)μm
*1 *2
位置誤差 ±0.5μm ±1.5μm ±4.0μm ±8.0μm
測定領域 *3 2×10mm
(0.05~0.1mm)
4×10mm
(0.1~10mm)
10×30mm 20×60mm 30×120mm
投受光部間
距離 *3
標準 68mm 130mm 273mm 321mm
最大 100mm 350mm 700mm 700mm
レーザ走査回数 3,200回/s
レーザ走査速度 113m/s 226m/s 452m/s 904m/s
保護構造 IEC規格 IP64
周囲温度範囲 動作時: 0~+40℃ 保存時:−15~+60℃(ただし、氷結、結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時、保存時: 各35~85%RH(ただし、結露しないこと)
接続方式 コネクタ式コード引き出しタイプ(標準コード長5m)
質量 ※梱包状態 約3kg
(本体投光部:約0.7kg
本体受光部:約0.4kg
支持ベース:約0.3kg)
約4.6kg
(本体投光部:約1.1kg
本体受光部:約0.6kg
支持ベース:約0.5kg)
約8kg
(本体投光部:約1.4kg
本体受光部:約0.8kg
支持ベース:約0.8kg)
約12.8kg
(本体投光部:約3kg
本体受光部:約1.2kg
支持ベース:約1.8kg)
材質 本体 アルミダイカスト
支持ベース SPCC
付属品 信号コード 5m、 IDユニット、 取扱説明書

*1. 測定領域中央にて測定した時の値
*2. Dはマスターゲージとの外径差
*3. 測定領域と投光部・受光部間の距離について
   機種により測定領域が異なります。投光部・受光部を支持ベースから取りはずして使用できますが、その場合は下図のL寸法は変更して使用できます。
   標準距離は、支持ベースに取りつけた状態を示します。

3Z4L V3 定格/性能 3

〈用語説明〉

直線性

測定領域の中心において、各々の寸法に応じて固有に生じる最大誤差量(各寸法のワークを測定した場合に測定値が真値から外れた片寄り量)を表した数値です。本装置では、機種別にキャリブレーションゲージ(オプション)が用意してあり、このキャリブレーションゲージにて校正を行い、測定領域中心でワークを測定した際の理想値からのずれ値です。
※キャリブレーションの寸法値検定の際に発生する誤差は含まれておりません。別途、加算されます。

3Z4L V3 定格/性能 5

繰り返し精度

測定領域の中心において、各々の測定機の最大測定径の被測定物を動かすことなく、平均化回数1,024回に設定し、2分間連続測定を行った場合における測定値のバラツキ(±2σ)の値です。

位置誤差

被測定物が測定領域内で位置ずれを生じた際に、測定領域の中心における測定値を基準とした誤差量です。位置誤差には、下図のようにアップダウン精度とパラレル精度があり、位置誤差は個別にかかります。

3Z4L V3 定格/性能 7

コントローラ部

形式 形3Z4L-C5000V3 形3Z4L-C6000V3 備考
適合
センサ部
形3Z4L-S501RV3、 形3Z4L-S503RV3、 形3Z4L-S506RV3、
形3Z4L-S512RV3
-
測定値平均
回数/
測定間隔
測定値
平均回数
測定間隔 コントローラ部は平均化
演算処理に最大1.2ms
要するため、1.2msより
短い測定間隔
(平均化回数/1回およ
び2回)を設定した場合、
平均化演算処理を行っ
ている間のサンプリング
データの一部を破棄し
ます。
また、破棄されたデータは
統計演算・アナログ出力・
BCD出力に反映されませ
ん。
移動平均において1回目
の測定時間は設定された
平均化回数分の時間とな
りますが、2回目以降は
5msで測定結果が得ら
れます。
単純平均 移動平均
1回目の測定 2回目以降
1 0.32ms ―― ――
2 0.64ms ―― ――
4 1.3ms ―― ――
8 2.5ms ―― ――
16 5ms ―― ――
32 10ms 10ms 5ms
64 20ms 20ms 5ms
128 40ms 40ms 5ms
256 80ms 80ms 5ms
512 160ms 160ms 5ms
1,024 320ms 320ms 5ms
2,048 640ms 640ms 5ms
内蔵
インター
フェース
RS-232C、
I/Oアナログインターフェース
USB2.0(USB-HUBで10CHまで
連結してパソコンに接続可)
RS-232C、フットスイッチ、
I/Oアナログインターフェース
RS-232Cはターミナル
定義
(DTE)
オプション
インター
フェース
(別売)
なし 第2 I/Oアナログ
インターフェース形Z4L-BT5
BCDインターフェース形Z4L-BB5
デュアルシステム
インターフェース形Z4L-BW5V3
1種類のみ内蔵可能
(デュアルシステムを除く)
接続センサ数 1 1 (2) 形3Z4L-C6000V3は
形Z4L-BW5V3
追加で2台接続可能
(2台のセンサ部は
同一機種を使用)
パネル
マウント
使用可 使用不可 -
パソコンソフト 
QuickMonito
(無償)
使用可 使用可
その他 リモートインターロック、スキャン信号コネクタ、
電源スイッチ(キー一式)
電源電圧 DC21.6~26.4V リップル(p-p)
2%以下 1A *1
AC100~240V±10% 50/60Hz
40VA *2
周囲
温度範囲
動作時: 0 ~40℃ 保存時: -15~+60℃
(ただし、氷結、結露しないこと)
周囲
湿度範囲
動作時、保存時:各35~85%RH(ただし、結露しないこと)
接続方式 入出力側:端子台タイプ、
コネクタタイプ
電源側:端子台タイプ
入出力側:端子台タイプ、
コネクタタイプ
電源側:コネクタタイプ
質量
(梱包状態)
約2.6kg(本体: 約1.4kg) 約7.3kg(本体: 約5kg)
材質 PC/アルミ/ABS/SPCC PC/ABS/SECC/SPCC
付属品 取扱説明書、アースリード(4m)、
リモートインターロック用ショートピン
(コントローラ部に装着して出荷)、
リモートインターロック用コネクタ、
スキャン信号モニタ用コネクタ、
電源スイッチ用キー
取扱説明書、アースリード(4m)、
リモートインターロック用ショートピン
(コントローラ部に装着して出荷)、
リモートインターロック用コネクタ、
スキャン信号モニタ用コネクタ、
ヒューズ2A、電源スイッチ用キー、
電源コード

*1. 外部電源については、必ず指定容量以上の電源をご使用ください。
    オムロン製:形S8VS-06024(DC24V、2.5A)を推奨します。
*2. 付属電源コードの仕様はAC125Vです。
    AC125V以上でご使用の場合は市販のコードをお使いください。

主な測定機能

○:可能 ×:不可能

形式 形3Z4L-C5000V3 形3Z4L-C6000V3 説明
測定プログラム数 2 100 測定条件を設定保存できるプログラム数。
セグメント指定/
エッジ指定機能 *1
測定方法。どちらかを指定する。
セグメント指定:最大7つまでの明暗セグ
          メントを測定
エッジ指定:最大256のエッジ位置を計測
        し、任意のエッジ間を測定
合否判定機能7段階
(±NG、GO5段階)
× ○(形Z4L-BT5が必要) 測定結果に対する合否の判定。
合否判定機能3段階
(±NG、GO)
基準値偏差機能 基準値を設定し、測定結果と基準値との差
をアナログ出力。アナログ出力のスケール
値は任意に設定可能。
サンプル測定機能 設定した測定回数に対して演算(平均値、最
大値、最小値、範囲)し、合否判定および
アナログ出力。
統計演算機能 ○ *3 測定結果に対する統計値(測定回数、標準
偏差、最大値、最小値、平均値、最大値?
最小値)を演算。
ワーク自動検出機能 インライン測定機能。測定対象物が測定位
置に入ったと自動的に検知し、指定された
回数を測定。
異常値除外機能 公差判定外値を測定データから除外する
機能。
グループ判定機能 × ○(形Z4L-BT5が必要) 指定した複数個のグループに対して合否
判定し判定結果を出力。
透明体測定機能 光が透過する測定物を測定。
奇数刃工具測定機能 3枚刃、5枚刃など奇数の刃を持つ切削工具
(ドリル、エンドミルなど)の直径や、刃の
振れを測定する機能。
2ケ所同時測定機能 1回の測定で2個のプログラムを同時に処理。
デュアル測定機能 *2 × ○(形Z4L-BW5V3が必要) 2台のセンサ部で並列的に測定。

*1. セグメント指定/エッジ指定機能

3Z4L V3 定格/性能 12

*2. デュアル測定機能
   2台のセンサ部を直行させてX、Y測定させることができます。

3Z4L V3 定格/性能 14

2台のセンサ部を対面、積み重ねまたは背中合わせにし、主に大径測定物の外径を測定することができます。

3Z4L V3 定格/性能 15

2台のセンサ部は、必ず同一機種をご使用ください。
*3. 統計演算は本体キー操作では設定できません。
   USB/RS-232Cにより通信コマンドによる設定が必要です。