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3,200回/秒の超精密測定

スキャンモータの高速かつなめらかな回転が、トップクラスの繰り返し精度、位置誤差、直線性精度を生み出しています。
また、高速測定により、計測対象物の急激な変化にも追従できます。

検出サイズで選べるセンサバリエーション

3Z4L V3 特長 2

超精密スキャンモータの採用で超高精度を実現しています

〈スキャンモータのメリット〉

●高速でかつ安定したなめらかな回転により、高精度を生みます。
●長寿命を実現し、メンテナンスもフリーです。
●毎秒3,200回の超高速測定によりワークの急激な変化に対し追従します。
●周囲の温湿度変化による影響は小さく高精度が得られます。

3Z4L V3 特長 5

上図のブロック図において半導体レーザからのレーザビームはクロックパルスに同期して高速回転しているポリゴンミラーで反射されコリメータレンズにより平行ビームとなり測定物を走査(スキャン)し集光レンズにより受光素子に到達します。
受光素子では測定物によりさえぎられた光の強弱に応じた電圧を生じます。この電圧変化によりレーザビームが測定物にさえぎられている時間に発生したパルスを計数することにより寸法として表示するものです。したがって測定物の大きさ、測定物と測定物の隙間でも測定することができます。