*1. 中心光強度の1/e2(13.5%)で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光の反射率がワークに比べて高い状況では、影響がでる場合があります。
*2. 弊社標準のSUSブロック測定時における変位出力の理想直線に対する誤差です。ワークによって直線性が変わることがあります。
*3. 弊社標準の石英ガラス測定時における変位出力の理想直線に対する誤差です。ワークによって直線性が変わることがあります。
*4. 変位出力の「ピークtoピーク」の変位換算値です。ワークは弊社標準の石英ガラス(正反射モード)あるいは、弊社標準のSUSブロック(拡散反射モード)にて、測定中心で測定した場合です。
電磁界内では、分解能の性能を満足できないことがあります。
*5. 形Z300-VC10V3に接続、測定平均回数256回にて、RS-232C出力「Mコマンド」の場合です。
*6. CCDモードで1ライン(高速)に設定して測定した時の値です。
*7. センサ部とワーク(石英ガラス)の間をアルミの治具で固定した場合の値です。