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プログラマブルスレーブは、センサ、アクチュエータ等で組み合わせたひとつのユニット（装置）自体をDeviceNetのスレーブとして扱えます。装置の分散化、ユニット化を強力にサポートすることができ、ユニット毎のプログラムの標準化とマスタ側コントローラのプログラム量の軽減につながります。また従来のI/O分散では装置すべてを組み立ててからでないとできなかったI/Oチェック、動作チェックが分散単位毎（ユニット毎）に可能になります。
• DeviceNetを含め3階層までに接続されているCX-Programmerからプログラミング可能（CX-P Ver. 2.1以降、プログラマブルスレーブ Ver. 1.04以降）
• DeviceNetスレーブ機能搭載
多チャンネルのI/Oリンクとメッセージ通信のサポートによりスレーブ内のデータをマスタからコントロール可能
都度、通信の必要ないログデータなどはメッセージ通信で一括に通信
• CompoBus/Sマスタ機能搭載
離れた箇所（信号灯、押ボタンスイッチ）、端子台増設や各社空圧バルブの省配線接続が可能
接続にはVCTF、簡単分岐のフラットケーブルをサポート
• RS-232C通信
BCR、PT等を接続可能、スレーブ側でデータ処理することによりマスタの負荷軽減
• 拡張ユニット（最大3ユニット）
分岐するブロック内を1ノードで実現可能。多点時、通信部が減るためコストダウンが可能
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