形式 | 形F3M-S625 | 形F3M-S626 | 形F3M-S825 | 形F3M-S826 | 形F3M-S1213 | 形F3M-S1225 | |
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段数 | 25 | 26 | 25 | 26 | 13 | 25 | |
光軸ピッチ | 4.76mm | 6.35mm | 10mm | ||||
光軸部厚み | 1.5mm | ||||||
検出物体 | 6インチ(5インチ)半導体 シリコンウエハ、sicウエハ (透過率30%以下のワーク)* |
8インチ半導体シリコンウエハ、 sicウエハ (透過率30%以下のワーク)* |
12インチ半導体シリコンウエハ、 12インチsicウエハ (透過率30%以下のワーク) |
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光源 (発光波長) |
赤外発光ダイオード(860nm) | 赤外発光ダイオード(940nm) | |||||
電源電圧 | DC12~24V±10%リップル(p-p)10%以下 | ||||||
消費電流 | 120mA以下 | ||||||
出力 形式 |
制御 出力 |
負荷電源電圧DC30V以下、負荷電流20mA以下(残留電圧1V以下)、流入電流20mA、 全chパラレル出力、NPNオープンコレクタ出力形、しゃ光時ON |
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アンサー バック 出力 |
リモートティーチング時28ピン出力を本機能にシフト | ||||||
自己診 断出力 |
負荷電源電圧 DC30V以下 負荷電流 20mA以下(残 留電圧1V以下) 流入電流20mA NPNオープン コレクタ出力 |
− | 負荷電源電圧 DC30V以下 負荷電流 20mA以下(残 留電圧1V以下) 流入電流20mA NPNオープン コレクタ出力 |
− | 負荷電源電圧DC30V以下 負荷電流20mA以下 (残留電圧1V以下) 流入電流20mA NPNオープンコレクタ出力 |
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表示灯 |
電源 表示灯 |
電源投入時:点灯(緑色) | |||||
警告 表示灯 |
ティーチング時、ワークなし時、光量不足時、その他異常発生時:点灯(赤色) | ||||||
応答時間 | 10ms以下 | ||||||
制御出力停止 入力 |
全出力停止時:GND−制御出力停止入力間を短絡(0V短絡電流1mA以下) 出力停止解除時:GND−制御出力停止入力間を開放(オープンまたは9V以上使用電源電圧以下) |
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リモートティー チング入力 |
ON時:GND−リモート入力間を短絡(0V短絡電流1mA以下) OFF時:GND−リモート入力間を開放(オープンまたは9V以上使用電源電圧以下) |
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ティーチング 確認機能 |
表示灯(橙色) | ||||||
使用周囲照度 | 受光面照度蛍光灯:1,500lx以下 | ||||||
周囲温度 | 動作時:0~+40°C、保存時:−25~+60°C (ただし、氷結、結露しないこと) |
動作時:0~+55°C、 保存時:−25~+60°C (ただし、氷結、結露しないこと) |
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周囲湿度 | 動作時・保存時:各35~85%RH(ただし、結露しないこと) | ||||||
耐ノイズ | 電源ライン:±480V(ノーマルモード/ノイズシミュレータにて) 静電ノイズ:±8kVにて誤動作および破損なし |
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振動(耐久) | 10~55Hz 複振幅0.5mm X、Y、Z 各方向 2h | ||||||
衝撃(耐久) | 300m/s2 X、Y、Z 各方向 3回 | ||||||
保護構造 | IEC規格IP40 | ||||||
接続方式 | コネクタつきコード引き出しタイプ(標準コード長100mm) | コネクタ接続式 | |||||
質量 (梱包状態) |
約110g | 約200g | 約300g | ||||
材質 | 光軸部 | ポリカーボネート | |||||
ケース | ABS | ABS、アルミニウム (アルマイト処理/クリア仕上げ) |
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コード | 可倒タイプビニール絶縁 | − | |||||
付属品 | スペーサ、取扱説明書 | 取扱説明書 |