F3M-S

マッピングセンサ（くし型）

F3M-S

13段/25段一括マッピングスループットの向上。SICダミーウエハ安定検出により、コストダウン貢献

※ Web特別価格提供品

※ このページの記載内容は、生産終了以前の製品カタログに基づいて作成した参考情報であり、製品の特長 / 価格 / 対応規格 / オプション品などについて現状と異なる場合があります。ご使用に際してはシステム適合性や安全性をご確認ください。

この商品について

情報更新 : 2024/02/20

対応ウエハサイズ	段数	機能	形式
6インチ（5インチ）（ピッチ4.76mm）	25段	自己診断	形F3M-S625
6インチ（5インチ）（ピッチ4.76mm）	26段	―	形F3M-S626
8 インチ（ピッチ6.35mm）	25段	自己診断	形F3M-S825
8 インチ（ピッチ6.35mm）	26段	―	形F3M-S826
12 インチ（ピッチ10mm）	13段	自己診断	形F3M-S1213
12 インチ（ピッチ10mm）	25段	自己診断	形F3M-S1225

情報更新 : 2024/02/20