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2012/03 受注終了

F3M-S

マッピングセンサ(くし型)

F3M-S

13段/25段一括マッピングスループットの向上。SICダミーウエハ安定検出により、コストダウン貢献

※ Web特別価格提供品

※ このページの記載内容は、生産終了以前の製品カタログに基づいて作成した参考情報であり、製品の特長 / 価格 / 対応規格 / オプション品などについて現状と異なる場合があります。ご使用に際してはシステム適合性や安全性をご確認ください。

※ ◎印または灰色背景表記の機種は標準在庫機種です。無印(受注生産機種)の納期についてはお取り引き商社にお問い合わせください。

対応ウエハサイズ 段数 機能 形式 標準価格(¥)
6インチ(5インチ)
(ピッチ4.76mm)
25段 【自己診断】 形F3M-S625 オープン価格
(お取引き商社にお問い合わせください。)
26段 形F3M-S626
8インチ
(ピッチ6.35mm)
25段 【自己診断】 形F3M-S825
26段 形F3M-S826
12インチ
(ピッチ10mm)
13段 【自己診断】 形F3M-S1213
25段 【自己診断】 形F3M-S1225