MEMSフローセンサ

温度、圧力の影響が少なく、高精度で流量域の広い気体流量計測を可能とした流量センサと風量センサ

MEMSフローセンサ商品一覧

MEMSフローセンサは以下の 8 商品があります。

空気用、流量範囲 70L/min。デジタル補正により高精度化を実現

空気用、流量範囲 50L/min 高精度センシングを実現

形D6F-20A5-000は2026年3月受注終了予定

都市ガス、空気用、流量範囲 50L/min 小型で高精度センシングを実現

都市ガス、LPガス、空気用、流量範囲 30L/min 配管部のクイックファスナ化による配管工数削減に貢献

形D6F-30A7-000は2026年3月受注終了予定

空気用、流量範囲　30L/min, 70L/min 配管部のクイックファスナ化による配管工数削減に貢献

空気用、バイパス設置により幅広い流量レンジに対応

空気用、小型・高精度で流速＊を計測。安定した温度特性　＊流速は当社規定風洞内の質量流量より換算した値であり、計量法に定められた流速を示すものではありません。

空気用、小型・高精度で流速＊を計測　＊流速は当社規定風洞内の質量流量より換算した値であり、計量法に定められた流速を示すものではありません。

生産終了品のカタログ・マニュアルのダウンロード、推奨代替品の確認が行えます。