NXシリーズ 高機能温度調節ユニット
NX-HTC省スペースと
高い温度制御性を両立

小型コネクタ端子台XW2Kとの組み合わせで
さらに省スペース化
既存のフットプリントで制御の多点化を実現

業界最小サイズの小型コネクタ端子台と専用ケーブルでの省配線により、盤内占有面積をさらに小さくできます。

広範囲かつ高分解能な温度制御を実現

広い温度範囲での0.01℃の高分解能により、高い温度でも高精度な温度制御に貢献します。

特徴量見える化機能について

特徴量見える化機能とは、長年の温度制御サポートの知見から得たワーク、環境、設備の変動が表われやすい温度制御の指標を生産中の温度波形と操作量波形から自動的に算出し数値化する機能です。
特徴量を監視することで、ワーク、環境、設備の微細な変化を検知することができます。

特徴量データの傾向監視により、
ワーク・設備・環境変動を検知

温度制御時の波形を特徴量化することで、設備の状態を定量的に管理。
これによって、設備の状態がいつもと違うことを早期に発見し、不良品の削減に貢献します。

特徴量見える化機能の紹介動画

定型外乱による温度変動を自動で抑制

チャンバーの扉開閉による外気流入など予期可能な温度変動に対して安定的に自動制御。品質の向上や温度が安定するまでの待ち時間を短縮して生産能力の向上に貢献します。

生産能力の向上に貢献

温度変動を抑制することにより、 温度が安定するまでの待ち時間を従来比で最大80％削減します。

外乱抑制機能で温度変動を最小限に

外乱抑制機能とは、予期可能な外乱に対しあらかじめ温度変動を抑制する制御機能です。外乱発生前に温度調節器ユニットに信号を入力することにより、 本機能が動作し操作量を加算または減算します。外乱オートチューニングにより FF(フィードフォワード)操作量、 FF動作時間とFF待ち時間を自動調整します。

定型外乱により温度が低下する場合