NEW2022年8月発売

NXシリーズ EtherCAT^® スレーブユニットEtherCAT
自律分散システムで、
半導体装置の付加価値向上

ウェハプロセス制御の
再現性を確保

ウェハプロセス制御以外を自律分散モジュール化することで、メインコントローラのリソースを、プロセス制御に集中させます。
さらに高速・低ジッタでリアルタイム性のあるEtherCATを採用することで再現性を確保します。

従来メインコントローラで
全て制御する場合

NXシリーズプロセス制御以外を
分散モジュールとする場合

装置設計リードタイム短縮

分散モジュール化することで並行開発が可能。さらにNX-ECT101を使用しEtherCATに統一することで、習得するツールが減少します。
使用するSysmac Studioは、モーション・セーフティ・センシングまでの開発環境を統合したオートメーションソフトウェアです。
そのため、設計リードタイムや設計者育成期間が短縮できます。