セーフティドアスイッチの制御出力OFFによる不要な機械停止の回避

現場の課題

半導体製造装置の扉（可動ガード）に安全対策のため、非接触式のセーフティドアスイッチを取り付けています。可動ガードは閉じており、安全上は問題ありませんが、系統間短絡や地絡などスイッチ自体の警告で補助出力がOFFすると、安全出力も同じタイミングでOFFになり、機械を停止する必要がなくても止まってしまい、不要なダウンタイムが発生しています。

改善

高コード非接触式セーフティドアスイッチ D41Dの”設備を止めない安全機能”で不要なダウンタイムを低減できます。

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改善の内容

D41Dは、設備を停止させなくてもよい警告状態（例えば、系統間短絡や地絡、周囲温度上昇）の場合に限り、補助出力を即時OFFし異常をお知らせしますが、安全出力はOFFしません。エラーから最大30分間は安全出力をONし続け、機械を止めず、不要なダウンタイムを低減できます。

改善のポイント

エラー発生時（補助出力OFF・安全出力ON）に、表示灯のLED表示でエラー原因を特定できます。原因に対し対策を講じ、再起動すれば（再起動時は安全出力もOFFし機械停止）、制御出力、安全出力ともにONとなり、安全に機械を稼働させることができます。エラー発生から30分以内にこの対策を完了すれば、最低限のダウンタイムで復旧することができます。