液晶ガラス基板のアライメント精度の向上
現場の課題
汚れや欠けの影響でアライメントマークが検出できず歩留まりが低下。また2台のカメラの計測結果を元にステージの移動量をPLCで計算・補正する必要があり、ラダー設計やキャリブレーション（調整）に工数がかかっています。
改善
画像処理システム FHシリーズで液晶ガラス基板のアライメントマークを検出します。
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改善の内容
アライメントマーク検出のカメラ画像処理機能が搭載された、画像処理システム FHシリーズを導入することで、撮影環境・ロット・ワーク材質などによる見え方の変化に関わらず、高精度かつロバストな位置決めが可能です。短軸＋θ軸のステージアライメントに対応する「ステージアライメント機能」をもち、機械のシンプル化に貢献します。
改善のポイント
汚れや欠けの影響を抑え、安定した検出が可能に。またオートキャリブレーションにより複雑な設定や演算なしで位置決めが実行できます。
アライメントマーク検出の時間短縮に貢献します。
事例はご参考ですので、｢適合性等｣については保証いたしかねます。詳細は免責事項をご覧ください。
- 事例番号
- ap00003
使用している商品
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画像処理システム
FHシリーズ
傷・欠陥検査をAIで自動化
形FH-L550（-10）は2024年9月、FH-2050(-□0)/5050(-□0)/FH-5550(-□0)は2025年3月受注終了予定。