事例番号
ap00003
情報更新

液晶ガラス基板のアライメント精度の向上

現場の課題

汚れや欠けの影響でアライメントマークが検出できず歩留まりが低下。また2台のカメラの計測結果を元にステージの移動量をPLCで計算・補正する必要があり、ラダー設計や調整工数がかかっている。

改善の内容

アライメントマーク検出の画像処理機能が搭載された画像処理システム 形FHシリーズを導入することにより、安定検出が可能になります。

  • 液晶ガラス基板のアライメント精度の向上

改善のポイント

汚れや欠けの影響を抑え、安定した検出が可能に。またオートキャリブレーションにより複雑な設定や演算無しに位置決めが実行できます。
アライメントマーク検出の時間短縮に貢献します。

事例はご参考ですので、「適合性等」については保証いたしかねます。詳細は免責事項をご覧ください。

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