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「静電気の見える化」を実現。スマート静電気センシング

大風量と薄型・高性能を両立したファンフィルタユニット。 クリーンブースのサイズや用途に合わせて選べる3タイプ

クリーンルームやクリーンブースのパーティクルやダストを簡単に計測できるセンサ。計測機器に迫る高精度計測が可能。パーティクルカウンタに比べ、超小型なので、狭い場所でも設置可能

温度や湿度を高精度に測定する小型のセンサ。簡単に取り付けでき、製造ラインや製造装置周辺の温度・湿度計測に最適。測定データはパソコンで管理可能

スマートセンサを新領域へ導く超高精度変位計ラインナップ

透明体も鏡面も粗面も、超高精度・超高速に安定測定

金属ワークの変位を高精度検出

クラス最長でミクロン精度を実現

小型ボディで賢い機能を搭載したレーザ変位センサ

非接触では困難な高精度計測を実現