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E3X-ZV / MZV

スマートファイバアンプ

E3X-ZV / MZV

ワークのある・なし検出で驚きの価格と確かな安定性

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この商品について

関連情報

情報更新 : 2024/07/08

定格／性能

1チャンネルタイプ

タイプ 標準/タイマ強化 外部入力
項目 NPN出力 形E3X-ZV11 形E3X-ZV6/ZV6M 形E3X-ZV21 形E3X-ZV7
PNP出力 形E3X-ZV41 形E3X-ZV8/ZV8M 形E3X-ZV51 形E3X-ZV9
接続方式 コード引き出し 省配線コネクタ ＊1 コード引き出し 省配線コネクタ ＊1
入出力 1出力 1出力+1入力 ＊2
光源（発光波長） 赤色4元素発光ダイオード（625nm）
電源電圧 DC12～24V±10%リップル（p-p）10%以下
消費電力 通常モード：720mW以下
（電源電圧24V時 消費電流30mA以下/電源電圧12V時 消費電流60mA以下）
エコ機能ON：530mW以下
（電源電圧24V時 消費電流22mA以下/電源電圧12V時 消費電流44mA以下)		 通常モード：720mW以下
（電源電圧24V時 消費電流30mA以下/電源電圧12V時 消費電流60mA以下）
エコ機能ON：530mW以下
（電源電圧24V時 消費電流22mA以下/電源電圧12V時 消費電流44mA以下)
エコ機能スタンバイ：390mW以下
（電源電圧24V時 消費電流16mA以下/電源電圧12V時 消費電流32mA以下）
制御出力 負荷電源電圧：DC26.4V以下、オープンコレクタ出力形
（NPN/PNP出力は、形式によって異なります）
負荷電流：100mA以下
（残留電圧 負荷電流10mA未満：1V以下、 負荷電流10～100mA：2V以下）
オフ状態電流：0.1mA以下
表示灯 7セグディスプレイ（しきい値表示：緑色+受光量表示：赤色）
表示方向：通常/反転表示切替可能
スマートチューニング表示灯（緑色）
OUT表示灯（橙色）
保護回路 電源逆接続保護、出力短絡保護、出力逆接続保護
応答時間 最速モード（SHS） 動作・復帰：各50μs
高速モード（HS） 動作・復帰：各250μs ＊3
標準モード（Stnd） 動作・復帰：各1ms ＊4
ギガパワーモード（GIGA） 動作・復帰：各16ms
感度調整 スマートチューニング【2点チューニング/パワーチューニング/パーセントチューニング（-99%～+99%）/
最大感度チューニング/フルオートチューニング/位置決めチューニング】またはマニュアル調整
最大連結台数 16台（アンプを密着して取りつけた場合と省配線コネクタ連結の最大台数）
相互干渉防止機能 投光周期 設定切替式（最大4台）
機能 DPC（受光量自動補正） あり
ATC（閾値自動補正） あり
タイマ タイマ機能無効/オフディレイ/オンディレイ/ワンショット/オンオフディレイ ＊5
形E3X-ZV11/41/6/8/21/7/9：1～9999ms
形E3X-ZV6M/8M：0.1～9999ms
ゼロリセット マイナス表示可能（しきい値もシフトします）
設定リセット イニシャルリセット（工場出荷時の状態）/ユーザリセット（セーブした状態）から選択可能
エコ機能 OFF（デジタル表示点灯）/ECO（デジタル表示消灯）から選択可能 OFF（デジタル表示点灯）/ECO（デジタル表示消灯）/
スタンバイ（デジタル表示消灯、投光停止）から選択可能
パワーチューニング設定 ON/OFFから選択可能
使用周囲照度 受光面照度 白熱ランプ：20,000lx以下、太陽光：30,000lx以下
周囲温度範囲 動作時：-25～+55℃/保存時：-30～+70℃（ただし、氷結、結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、氷結、結露しないこと）
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vメガにて）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min
振動（耐久） 10～55Hz 複振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
衝撃（耐久） 500m/s2 X、Y、Z各方向 3回
質量（梱包状態/本体のみ） 約95g/約65g 約45g/約20g 約95g/約65g 約45g/約20g
材質 ケース ポリカーボネート（PC）
カバー ポリカーボネート（PC）
コード 塩化ビニル（PVC）
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート

＊1. 形E3X-CN11（親コネクタ3線）、形E3X-CN12（子コネクタ1線）のいずれか
＊2. 入力に関する詳細は、以下となります。

有接点入力（リレー、スイッチ） 無接点入力（トランジスタ） 入力時間
NPNタイプ ON時：0Vに短絡（流出電流：1mA以下）
OFF時：開放、またはVccに短絡		 ON時：1.5V以下（流出電流：1mA以下）
OFF時：Vcc-1.5V～Vcc（漏れ電流：0.1mA以下）		 ON：100ms以上
OFF：100ms以上
PNPタイプ ON時：Vccに短絡（吸込電流：3mA以下）
OFF時：開放、または0Vに短絡		 ON時：Vcc-1.5V～Vcc（吸込電流：3mA以下）
OFF時：1.5V以下（漏れ電流：0.1mA以下）

＊3. 相互干渉防止機能 応答時間優先モード時 2台：350μs、3台：400μs / 台数優先モード時 4台：700μs
＊4. 相互干渉防止機能 台数優先モード時 4台：1.6ms
＊5. 形E3X-ZV6M/ZV8Mのみ選択できます。

2チャンネルタイプ

タイプ 標準 外部入力
項目 NPN出力 形E3X-MZV11 形E3X-MZV6 形E3X-MZV21
PNP出力 形E3X-MZV41 形E3X-MZV8 形E3X-MZV51
接続方式 コード引き出し 省配線コネクタ ＊1 コード引き出し
入出力 2出力 2出力+2入力 ＊2
光源（発光波長） 赤色4元素発光ダイオード（625nm）
電源電圧 DC12～24V±10%リップル（p-p）10%以下
消費電力 通常モード：820mW以下
（電源電圧24V時 消費電流35mA以下/電源電圧12V時 消費電流69mA以下）
エコ機能ON：600mW以下
（電源電圧24V時 消費電流25mA以下/電源電圧12V時 消費電流50mA以下)		 通常モード：820mW以下
（電源電圧24V時 消費電流35mA以下/電源電圧12V時 消費電流69mA以下）
エコ機能ON：600mW以下
（電源電圧24V時 消費電流25mA以下/電源電圧12V時 消費電流50mA以下)
エコ機能スタンバイ：480mW以下
（電源電圧24V時 消費電流20mA以下/電源電圧12V時 消費電流40mA以下）
制御出力 負荷電源電圧：DC26.4V以下、オープンコレクタ出力形
（NPN/PNP出力は、形式によって異なります）
負荷電流：100mA以下
（残留電圧 負荷電流10mA未満：1V以下、 負荷電流10～100mA：2V以下）
オフ状態電流：0.1mA以下
表示灯 7セグディスプレイ（しきい値表示：緑色+受光量表示：赤色）
表示方向：通常/反転表示切替可能
スマートチューニング表示灯（緑色）
OUT1/2表示灯（橙色）、CH表示灯（緑色）
保護回路 電源逆接続保護、出力短絡保護、出力逆接続保護
応答時間 最速モード（SHS） 動作・復帰：各100μs
高速モード（HS） 動作・復帰：各250μs ＊3
標準モード（Stnd） 動作・復帰：各1ms ＊4
ギガパワーモード（GIGA） 動作・復帰：各16ms
感度調整 スマートチューニング【2点チューニング/パワーチューニング/パーセントチューニング（-99%～+99%）/
最大感度チューニング/フルオートチューニング/位置決めチューニング】またはマニュアル調整
最大連結台数 16台（アンプを密着して取りつけた場合と省配線コネクタ連結の最大台数）
相互干渉防止機能 投光周期 設定切替式（最大2台）。
または、E3X-ZV 2台（台数優先モード）とE3X-MZV 1台まで。
機能 DPC（受光量自動補正） あり
ATC（閾値自動補正） あり
タイマ タイマ機能無効/オフディレイ/オンディレイ/ワンショット
1～9999ms
ゼロリセット マイナス表示可能（しきい値もシフトします）
設定リセット イニシャルリセット（工場出荷時の状態）/ユーザリセット（セーブした状態）から選択可能
エコ機能 OFF（デジタル表示点灯）/ECO（デジタル表示消灯）から選択可能 OFF（デジタル表示点灯）/ECO（デジタル表示消灯）/
スタンバイ（デジタル表示消灯、投光停止）から選択可能
パワーチューニング設定 ON/OFFから選択可能
使用周囲照度 受光面照度 白熱ランプ：20,000lx以下、太陽光：30,000lx以下
周囲温度範囲 動作時：-25～+55℃/保存時：-30～+70℃（ただし、氷結、結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、氷結、結露しないこと）
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vメガにて）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min
振動（耐久） 10～55Hz 複振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
衝撃（耐久） 500m/s2 X、Y、Z各方向 3回
質量（梱包状態/本体のみ） 約100g/約75g 約45g/約20g 約100g/約75g
材質 ケース ポリカーボネート（PC）
カバー ポリカーボネート（PC）
コード 塩化ビニル（PVC）
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート

＊1. 形E3X-CN21（親コネクタ4線）、形E3X-CN22（子コネクタ2線）のいずれか
＊2. 入力に関する詳細は、以下となります。

有接点入力（リレー、スイッチ） 無接点入力（トランジスタ） 入力時間
NPNタイプ ON時：0Vに短絡（流出電流：1mA以下）
OFF時：開放、またはVccに短絡		 ON時：1.5V以下（流出電流：1mA以下）
OFF時：Vcc-1.5V～Vcc（漏れ電流：0.1mA以下）		 ON：100ms以上
OFF：100ms以上
PNPタイプ ON時：Vccに短絡（吸込電流：3mA以下）
OFF時：開放、または0Vに短絡		 ON時：Vcc-1.5V～Vcc（吸込電流：3mA以下）
OFF時：1.5V以下（漏れ電流：0.1mA以下）

＊3. 相互干渉防止機能使用時：700μs
＊4. 相互干渉防止機能使用時：1.6ms

検出距離

ねじ型

検出方式 検出方向 サイズ 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 ライトアングル M4 形E32-T11N 2M 2,000 1,000 700 280
形E32-LT11N 2M 4,000 ＊ 3,500 2,300 920
ストレート 形E32-T11R 2M 2,000 1,000 700 280
形E32-LT11 2M 4,000 ＊ 4,000 ＊ 2,700 1,080
形E32-LT11R 2M 4,000 ＊ 3,500 2,300 920
反射形 ライトアングル M3 形E32-C31N 2M 110 50 46 14
形E32-C21N 2M 290 130 90 39
M4 形E32-D21N 2M 840 350 240 100
M6 形E32-C11N 2M 780 350 320 100
形E32-LD11N 2M 840 350 240 100
ストレート M3 形E32-D21R 2M 140 60 40 16
形E32-C31 2M 330 150 100 44
形E32-C31M 1M
M4 形E32-D211R 2M 140 60 40 16
M6 形E32-D11R 2M 840 350 240 100
形E32-CC200 2M 1,400 600 400 180
形E32-LD11 2M 860 360 250 110
形E32-LD11R 2M 840 350 240 100

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

円柱型

検出方式 サイズ 検出方向 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 φ1 トップビュー 形E32-T223R 2M 450 250 150 60
φ1.5 形E32-T22B 2M 680 400 220 90
φ3 形E32-T12R 2M 2,000 1,000 700 280
サイドビュー 形E32-T14LR 2M 750 450 260 100
反射形 φ1.5 トップビュー 形E32-D22B 2M 140 60 40 16
φ1.5+φ0.5 形E32-D43M 1M 28 12 8 4
φ3 形E32-D22R 2M 140 60 40 16
形E32-D221B 2M 300 140 90 40
形E32-D32L 2M 700 300 200 90
φ3+φ0.8 形E32-D33 2M 70 30 20 8

フラット型

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 トップビュー 形E32-T15XR 2M 2,000 1,000 700 280
サイドビュー 形E32-T15YR 2M 750 450 260 100
フラットビュー 形E32-T15ZR 2M
反射形 トップビュー 形E32-D15XR 2M 840 350 240 100
サイドビュー 形E32-D15YR 2M 200 100 52 24
フラットビュー 形E32-D15ZR 2M

スリーブ型

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 形E32-T24R 2M 170 100 50 20
形E32-T24E 2M 450 250 150 60
トップビュー 形E32-T33 1M 150 90 50 20
形E32-T21-S1 2M 510 300 170 68
形E32-TC200BR 2M 2,000 1,000 700 280
反射形 サイドビュー 形E32-D24R 2M 70 30 20 8
形E32-D24-S2 2M 120 53 45 14
トップビュー 形E32-D43M 1M 28 12 8 4
形E32-D331 2M 14 6 4 2
形E32-D33 2M 70 30 20 8
形E32-D32-S1 0.5M 63 27 18 7
形E32-D31-S1 0.5M
形E32-DC200F4R 2M 140 60 40 16
形E32-D22-S1 2M 250 110 72 30
形E32-D21-S3 2M
形E32-DC200BR 2M 840 350 240 100
形E32-D25-S3 2M 250 110 72 30

小スポット反射

種類 スポット径 中心距離
（mm）		 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
可変スポット φ0.1～0.6 6～15 形E32-C42 1M+形E39-F3A 6～15mmでスポット径φ0.1～0.6mm
φ0.3～1.6 10～30 形E32-C42 1M+形E39-F17 10～30mmでスポット径φ0.3～1.6mm
平行光 φ4 0～20 形E32-C31 2M+形E39-F3C 0～20mmでスポット径φ4mm以下
形E32-C31N 2M+形E39-F3C
一体型 φ0.1 5 形E32-C42S 1M 5mmでスポット径φ0.1mm
φ6 50 形E32-L15 2M 50mmでスポット径φ6mm
小スポット φ0.1 7 形E32-C41 1M+形E39-F3A-5 7mmでスポット径φ0.1mm
φ0.5 形E32-C31 2M+形E39-F3A-5 7mmでスポット径φ0.5mm
形E32-C31N 2M+形E39-F3A-5
φ0.2 17 形E32-C41 1M+形E39-F3B 17mmでスポット径φ0.2mm
φ0.5 形E32-C31 2M+形E39-F3B 17mmでスポット径φ0.5mm
形E32-C31N 2M+形E39-F3B
φ3 50 形E32-CC200 2M+形E39-F18 50mmでスポット径φ3mm
形E32-C11N 2M+形E39-F18

ハイパワー

種類 検出方向 開口角 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形
一体型		 ライトアングル 15° 形E32-LT11N 2M 4,000 ＊2 3,500 2,300 920
トップビュー 10° 形E32-T17L 10M 20,000 ＊1 20,000 ＊1 20,000 ＊1 8,000
15° 形E32-LT11 2M 4,000 ＊2 4,000 ＊2 2,700 1,080
形E32-LT11R 2M 4,000 ＊2 3,500 2,300 920
サイドビュー 30° 形E32-T14 2M 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 1,800
透過形
レンズ装着		 ライトアングル 12° 形E32-T11N 2M+形E39-F1 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 2,000
6° 形E32-T11N 2M+形E39-F16 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,600
トップビュー 12° 形E32-T11R 2M+形E39-F1 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 2,000
6° 形E32-T11R 2M+形E39-F16 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,600
サイドビュー 60° 形E32-T11R 2M+形E39-F2 1,450 800 500 200
トップビュー 12° 形E32-T11 2M+形E39-F1 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 1,860
6° 形E32-T11 2M+形E39-F16 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2
サイドビュー 60° 形E32-T11 2M+形E39-F2 2,300 1,320 860 320
トップビュー 12° 形E32-T51R 2M+形E39-F1 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,900 1,500
6° 形E32-T51R 2M+形E39-F16 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2
サイドビュー 60° 形E32-T51R 2M+形E39-F2 1,400 720 500 200
トップビュー 12° 形E32-T81R-S 2M+形E39-F1 4,000 ＊2 4,000 ＊2 2,700 1,000
6° 形E32-T81R-S 2M+形E39-F16 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 1,800
サイドビュー 60° 形E32-T81R-S 2M+形E39-F2 1,000 550 360 140
トップビュー 12° 形E32-T61-S 2M+形E39-F1 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 1,800
6° 形E32-T61-S 2M+形E39-F16 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,100
サイドビュー 60° 形E32-T61-S 2M+形E39-F2 1,680 900 600 240
トップビュー 12° 形E32-T51 2M+形E39-F1-33 4,000 ＊2 4,000 ＊2 2,300 1,400
6° 形E32-T51 2M+形E39-F16 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2
反射形
一体型		 トップビュー 4° 形E32-D16 2M 40～2,800 40～1,400 40～900 40～480

＊1. ファイバ長が片側10mのため、20,000mmとしています。
＊2. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

狭視界

検出方式 検出方向 開口角 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 1.5° 形E32-A03 2M 3,220 1,780 1,200 500
形E32-A03-1 2M
3.4° 形E32-A04 2M 1,280 680 450 200
4° 形E32-T24SR 2M 4,000 ＊ 2,200 1,460 580
形E32-T24S 2M 4,000 ＊ 2,600 1,740 700
形E32-T22S 2M 4,000 ＊ 3,800 2,500 1,000

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

背景をとらずに検出

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 フラットビュー 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
形E32-L24S 2M 0～4
サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4～9（中心7.2）

透明体検出（回帰反射形）

検出方式 特長 サイズ 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
回帰反射形 フィルム検出 M3 形E32-C31 2M
+形E39-F3R
+形E39-RP37		 250 200 ー
角型 ー 形E32-R16 5M 150～1,500
ねじ型 M6 形E32-R21 2M 10～250
ナット型 形E32-LR11NP 2M
+形E39-RP1		 1,350 1,200 1,000 550

透明体検出（限定反射形）

検出方式 特長 検出方向 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 小型 フラットビュー 形E32- L24S 2M 0～4
標準 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
ガラス基板
アライメント70℃		 形E32-A08 2M 10～20 ー
標準/長距離 形E32-A12 2M 12～30 ー
サイドビュー形状 サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4～9（中心7.2）
ガラス基板
マッピング70℃		 トップビュー 形E32-A09 2M 15～38 ー

耐薬品/耐油

検出方式 種類 検出方向 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 耐油 ライトアングル 形E32-T11NF 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 2,200
耐薬品/油 トップビュー 形E32-T12F 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 1,600
形E32-T11F 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 2,600 1,000
サイドビュー 形E32-T14F 2M 1,400 800 500 200
耐薬品/油　150℃ トップビュー 形E32-T51F 2M 4,000 ＊1 2,800 1,800 700
反射形 半導体：洗浄・現像・
エッチング 60℃		 トップビュー 形E32-L11FP 5M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから19～31mm（推奨検出距離：22mm）
半導体：剥離85℃ 形E32-L11FS 5M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから32～44mm（推奨検出距離：35mm）
耐薬品/油 形E32-D12F 2M ー ＊2 190 130 60
ケーブルのみ耐薬品 形E32-D11U 2M 840 350 240 100

＊1. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
＊2. 検出物体が無くてもフッ素樹脂に反射して入光状態になります。

耐屈曲

種類 サイズ 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 φ1.5 形E32-T22B 2M 680 400 220 90
M3 形E32-T21 2M
M4 形E32-T11 2M 2,500 1,350 900 360
角型 形E32-T25XB 2M 500 300 170 70
反射形 φ1.5 形E32-D22B 2M 140 60 40 16
M3 形E32-D21 2M
φ3 形E32-D221B 2M 300 140 90 40
M4 形E32-D21B 2M
M6 形E32-D11 2M 840 350 240 100
角型 形E32-D25XB 2M 240 100 60 30

耐熱

種類 耐熱温度 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 100℃ 形E32-T51R 2M 1,600 800 560 225
150℃ 形E32-T51 2M 2,800 1,500 1,000 400
200℃ 形E32-T81R-S 2M 1,000 550 360 140
350℃ 形E32-T61-S 2M 1,680 900 600 240
反射形 100℃ 形E32-D51R 2M 670 280 190 80
150℃ 形E32-D51 2M 1,120 450 320 144
200℃ 形E32-D81R-S 2M 420 180 120 54
300℃ 形E32-A08H2 2M 10～20 ー
形E32-A09H2 2M 20～30（中心25） ー
350℃ 形E32-D611-S 2M 420 180 120 54
形E32-D61-S 2M
400℃ 形E32-D73-S 2M 280 120 80 36

エリア検出

検出方式 タイプ 検出幅 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 エリア 11mm 形E32-T16PR 2M 3,100 1,700 1,120 440
形E32-T16JR 2M 2,750 1,500 960 380
30mm 形E32-T16WR 2M 4,000 ＊ 2,600 1,700 680
反射形 アレイ 11mm 形E32-D36P1 2M 700 300 200 90

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

液面レベル検出

検出方式 パイプ径 特長 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
パイプ取りつけ φ3.2/6.4/9.5 安定残量検出 形E32-A01 5M 適用パイプ：φ3.2/6.4/9.5の透明パイプ、推奨肉厚1mm
φ8～10 複数連装使用 形E32-L25T 2M 適用パイプ：φ8～10mmの透明パイプ、推奨肉厚1mm
制限なし 大型パイプ 形E32-D36T 5M 適用パイプ：透明パイプ、径の制限なし
接液（耐熱200℃） - ー 形E32-D82F1 4M 接液タイプ

耐真空

検出方式 耐熱温度 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 120℃ 形E32-T51V 1M 720 400 260 100
形E32-T51V 1M+E39-F1V 2,000 ＊ 2,000 ＊ 1,360 520
200℃ 形E32-T84SV 1M 1,760 950 640 260

＊ファイバ長が片側1mのため、2,000mmとしています。

FPD/半導体/太陽電池業界

検出方式 アプリケーション 使用温度 形式 検出距離（mm）
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 ガラス有無検出 70℃ 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
ガラス基板アライメント 形E32-A08 2M 10～20 -
300℃ 形E32-A08H2 3M ー
70℃ 形E32-A12 2M 12～30 ー
ガラス基板マッピング 形E32-A09 2M 15～38 ー
300℃ 形E32-A09H2 2M 20～30（中心25）
WET工程
（洗浄、現象、エッチング）		 60℃ 形E32-L11FP 5M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから19～31mm（推奨検出距離：22mm）
WET工程（剥離） 85℃ 形E32-L11FS 5M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから32～44mm（推奨検出距離：35mm）
透過形 ウエハマッピング 70℃ 形E32-A03 2M 3,220 1,780 1,200 500
形E32-A03-1 2M
形E32-A04 2M 1,280 680 450 200
形E32-T24SR 2M 4,000 ＊ 2,200 1,460 580
形E32-T24S 2M 4,000 ＊ 2,600 1,740 700

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

情報更新 : 2024/07/08

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