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形式 形D6F-10A7D-000-0 形D6F-20A7D-000-0 形D6F-50A7D-000-0 形D6F-70AB71D-000-0
流量範囲 *1 0~10L/min 0~20L/min 0~50L/min 0~70L/min
適用流体 *2 空気
継ぎ手形状 クイック継ぎ手(P10) クイック継ぎ手(P14)
端子仕様 4端子コネクタ
電源電圧 DC3.0~3.6V
消費電流 無負荷、Vcc=DC3.3V、GDN=DC0V、25℃において、10mA以下
分解能 15bit
精度 *3 ±5%RD(10%F.S.≦流量<25%F.S.)
±3%RD(25%F.S.≦流量≦100%F.S.)
±5%RD
(10L/min≦流量<20L/min)
±3%RD
(20L/min≦流量≦70L/min)
応答速度 90ms以下
再現性 *4 0.3%RD 0.3%RD 0.5%RD 1.3%RD
通信方式 *5 I2C
ケース材質 PPS
保護構造 IEC規格 IP40(配管部を除く)
最大許容耐圧 100kPa
圧力損失 *4 0.034kPa 0.083kPa 0.28kPa 0.57kPa
動作温度範囲
*6
-10~+60℃
動作湿度範囲
*6
35~85%RH
保存温度範囲
*6
-30~+80℃
保存湿度範囲
*6
35~85%RH
絶縁抵抗 センサ外壁とリード端子間20MΩ以上(DC500V絶縁抵抗)
耐電圧 センサ外壁とリード端子間 AC500V 50/60Hz 1分間(リーク電流 1mA以下)
質量 57.3g 64.4g

*1. ただし、0℃、101.3kPa時の体積流量を意味する。
*2. ダスト、オイルミストを含まない乾燥・清浄気体であること。
*3. -10≦周囲温度≦60℃
*4. 参考値(代表値)
*5. 詳しくは、アプリケーションノート[形D6F-□□□□D-000-□]をご覧ください。
*6. ただし、氷結・結露しないこと。
注. カスタムオプションとして以下の機能があります。
     詳しくは当社営業担当者までご連絡ください
     ・温度測定
     ・アドレス設定(最大4アドレス)
     ・故障検知
     ・閾値設定