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| 形式 | 形D6F-10A7D-000-0 | 形D6F-20A7D-000-0 | 形D6F-50A7D-000-0 | 形D6F-70AB71D-000-0 |
|---|---|---|---|---|
| 流量範囲 ＊1 | 0～10L/min | 0～20L/min | 0～50L/min | 0～70L/min |
| 適用流体 ＊2 | 空気 | |||
| 継ぎ手形状 | クイック継ぎ手（P10） | クイック継ぎ手（P14） | ||
| 端子仕様 | 4端子コネクタ | |||
| 電源電圧 | DC3.0～3.6V | |||
| 消費電流 | 無負荷、Vcc＝DC3.3V、GDN＝DC0V、25℃において、10mA以下 | |||
| 分解能 | 15bit | |||
| 精度 ＊3 | ±5%RD（10%F.S.≦流量＜25%F.S.）
±3%RD（25%F.S.≦流量≦100%F.S.） |
±5%RD
（10L/min≦流量＜20L/min） ±3%RD （20L/min≦流量≦70L/min） |
||
| 応答速度 | 90ms以下 | |||
| 再現性 ＊4 | 0.3%RD | 0.3%RD | 0.5%RD | 1.3%RD |
| 通信方式 ＊5 | I2C | |||
| ケース材質 | PPS | |||
| 保護構造 | IEC規格 IP40（配管部を除く） | |||
| 最大許容耐圧 | 100kPa | |||
| 圧力損失 ＊4 | 0.034kPa | 0.083kPa | 0.28kPa | 0.57kPa |
| 動作温度範囲
＊6 |
-10～+60℃ | |||
| 動作湿度範囲
＊6 |
35～85%RH | |||
| 保存温度範囲
＊6 |
-30～+80℃ | |||
| 保存湿度範囲
＊6 |
35～85%RH | |||
| 絶縁抵抗 | センサ外壁とリード端子間20MΩ以上（DC500V絶縁抵抗） | |||
| 耐電圧 | センサ外壁とリード端子間 AC500V 50/60Hz 1分間（リーク電流 1mA以下） | |||
| 質量 | 57.3g | 64.4g | ||
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