仕様・定格

最大定格電圧 DC7V
可動範囲 原点位置からMin. 1mm（原点位置は下記、 原点出力周波数項目を参照）
電源電圧範囲 DC5±0.5V リップル150mVp-p
出力変動はDC5Vを基準に±10kHz以内
消費電流 30mA以下（電源電圧 5±0.1V）
使用周囲温度 ＋10～＋32℃（ただし、 結露・氷結しないこと）
使用周囲湿度 20～80%RH（使用周囲温度範囲内）
保存周囲温度 −30～＋70℃（ただし、 結露・氷結しないこと）
保存周囲湿度 40℃以下で10～90%RH
出力電圧 Lレベル DC0.5V以下、 Hレベル DC3.8V以上（電源電圧 DC5±0.1V）

性能

原点出力周波数 300±50kHz（出力周波数が300±50kHzの範囲内の位置を原点（原点位置）とすること）
原点位置範囲 2.2±0.3mm（300±5kHzの位置はセンサの基準面からの距離が上記範囲内の位置に存在する）
動作領域 原点位置を0とし、 0～200μm
感度 200±30kHz（原点出力周波数 300±50kHzのとき）
直線性 ±2%F.S.以下（原点位置から動作領域0～200μmの範囲）
繰り返し精度 取りつけ状態にて±1%F.S.以下
応答時間 10ms以下（出力の飽和点から90%の出力の位置）
絶縁抵抗 DC500Vにて、 端子一括とセンサ外壁間20MΩ以上
耐電圧 端子一括とセンサ外壁間にAC500Vを一分間印加
リーク電流 1mA以下
押圧荷重 原点位置 ： 4.9～75.5mN（原点から200μm変位位置 ： 26.5～128.5mN）

基本性能説明図