驚異の検出精度

オムロン独自
輪郭追従機能を搭載

セルの輪郭を自動抽出し、抽出した輪郭点を追跡しながら、周辺と形状が異なる箇所を検出。従来検出困難な場合でも安定して欠陥を検出します。
※弊社試験環境下において。

角の割れも見逃さない

輪郭上の欠けはもちろん、角の直線的な割れも見逃しません。

位置ずれ・形状変化に追従

位置ずれや形状、サイズのばらつきに自動で追従。形状変化の影響を受けずに欠陥を検出できます。

セルの反りにも強い

タブストリング後にセルの反りが発生しても欠陥だけを安定して検出します。

検査とアライメントを両立

設定＆プログラム工数削減
アライメント自動設定

これ1台で欠陥検査を行いながら、次工程のためのアライメントを高精度に実施。アライメントに必要な領域の設定も自動で行うことができるので、エッジ領域の複数設定や複雑な演算処理が要らず、設定工数やプログラム工数を削減することができます。