2次元CCDで透明体の変位測定を実現

形Z4M-Tは、2次元CCDを採用。
いままで測定が困難であったガラスなどの透明体の表面変位測定を可能にしました。
さらにラインビームを採用。
ワーク表面の凹凸（ヘアラインなど）やムラの影響を受けずに安定測定できます。（特許出願中）

裏面や背景の影響なく表面変位を測定できます

ワークが透明体（ガラス板など）の場合、従来の位置検出素子（PSD）を用いた変位センサでは表面からの反射光と裏面や背景からの反射光が平均化され、表面変位が正しく測定できませんでした。
形Z4M-Tは、2次元CCDで表面からの反射光のみを抽出し、透明体の表面変位測定を可能にしました。さらに裏面からの反射光も抽出できるので、透明体の厚みも測定できるようになりました。

表面の凹凸（ヘアラインなど）、ムラに影響されません

従来の変位センサは、投光ビームがスポットビームのため表面の凹凸やムラの影響をうけることがありました。形Z4M-T はラインビームを用いてビーム内の変位量を平均化して測定するので、表面の凹凸やムラの影響をうけにくくなりました。
しかもラインビーム内の最大高さ測定やエッジ位置の測定も可能になりました。

拡がるワーク、拡がるアプリケーション

ご注意： 形Z4M-T30V2では、トリガ機能は使用することができません。

リモート光量設定機能搭載（T30V2のみ）

反射率の大きく異なるワークが混在する場合でも測定できます。
外部入力により、それぞれのワークに対して最適な光量に設定可能です

HOLD機能搭載（T30V2のみ）

測定ワークのキズや穴などによる測定不能状態時に直前のデータにホールドします。

ビデオ出力により反射光の状態をモニタ可能

外部同期入力装備

測定したいタイミングに応じてワークの変位量を測定可能。