Page top

EE-SPY801 / 802

ウエハキャリア着座センサ

EE-SPY801 / 802

ウエハキャリアの着座検知

※ Web特別価格提供品

この商品について

形式形EE- SPY801/802
検出距離(標準検出物体)0~5mm(反射率90% 白色紙15×15mm2
0~3mm(反射率10% 黒色紙15×15mm2
検出物体ウエハキャリア(透明体・不透明体)
動作表示灯物体検出時点灯(橙色)
光源(ピーク発光波長)GaAs赤外発光ダイオード (940nm)
電源電圧DC12~24V±10% リップル(p-p) 5%以下
消費電流30mA以下
制御出力NPNオープンコレクタ出力、DC5~24V、100mA以下、オフ電流0.5mA以下
残留電圧:0.8V以下(負荷電流100mA時)
残留電圧:0.4V以下(負荷電流40mA時)
応答時間5ms以下
使用周囲照度受光面照度 白熱ランプ・太陽光:各3,000lx以下
周囲温度範囲動作時:−10~+55°C、保存時:−25~+65 °C (ただし、氷結しないこと)
周囲湿度範囲動作時:5~85%RH、保存時:5~95%RH (ただし、結露しないこと)
振動(耐久)1~500Hz 片振幅1.0mmまたは150m/s2 X、Y、Z各方向 3掃引、11min/掃引
衝撃(耐久)500m/s2 X、Y、 Z各方向 3回
保護構造IEC規格 IP30
接続方式コード引き出しタイプ(標準コード長2m)
質量(梱包状態)本体(センサ):約43g、アクセサリ(ガイド):約9g
材質ケーステトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(ETFE)
底板ポリブチレンテレフタレート
付属品取扱説明書