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EE-SPY801 / 802

ウエハキャリア着座センサ

EE-SPY801 / 802

ウエハキャリアの着座検知

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この商品について

関連情報

情報更新 : 2020/04/01

※ ◎印または灰色背景表記の機種は標準在庫機種です。無印（受注生産機種）の納期についてはお取り引き商社にお問い合わせください。

本体

形状 検出方式 検出距離 動作モード コード長 形式 標準価格（￥）
1171_lu_1_1 反射形 0～3mm
（赤外光）		 ウエハキャリアが
あるときにON		 2ｍ ◎ 形EE-SPY801 2M 5,800
1171_lu_1_2 ◎ 形EE-SPY802 2M

アクセサリ（別売）

名称 形式 標準価格（￥）
ガイド ◎ 形EE9-C01 1,500
◎ 形EE9-C02

注. センサとしての機能はありません。

情報更新 : 2020/04/01

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