形状 | 検出方式 | 検出距離 | 動作モード | コード長 | 形式 | 標準価格(¥) | |
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反射形 | 0~3mm
(赤外光) |
ウエハキャリアが
あるときにON |
2m | ◎ | 形EE-SPY801 2M | 5,800 |
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◎ | 形EE-SPY802 2M |
ウエハキャリア着座センサ
この商品について
関連情報
情報更新 : 2020/04/01
※ ◎印または灰色背景表記の機種は標準在庫機種です。無印(受注生産機種)の納期についてはお取り引き商社にお問い合わせください。
形状 | 検出方式 | 検出距離 | 動作モード | コード長 | 形式 | 標準価格(¥) | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
反射形 | 0~3mm
(赤外光) |
ウエハキャリアが
あるときにON |
2m | ◎ | 形EE-SPY801 2M | 5,800 |
![]() |
◎ | 形EE-SPY802 2M |
名称 | 形式 | 標準価格(¥) | |
---|---|---|---|
ガイド | ◎ | 形EE9-C01 | 1,500 |
◎ | 形EE9-C02 |
注. センサとしての機能はありません。
情報更新 : 2020/04/01
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