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| 形状 | 検出方式 | 検出距離 | 動作モード | コード長 | 形式 |
|---|---|---|---|---|---|
 |
反射形 | 0～3mm
（赤外光） |
ウエハキャリアが
あるときにON |
2ｍ | 形EE-SPY801 2M |
 |
形EE-SPY802 2M |
EE-SPY801 / 802
ウエハキャリア着座センサ
情報更新 : 2024/04/01
横幅を最大化
本体
アクセサリ（別売）
| 名称 | 形式 |
|---|---|
| ガイド | 形EE9-C01 |
| 形EE9-C02 |
注. センサとしての機能はありません。
情報更新 : 2024/04/01
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