• ガイドとの併用で着座位置を設定
• ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたフッ素樹脂を使用
• 独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知
• 外乱光に強い変調光方式
• コードはクリーンコード(タルク粉なし)を使用
ウエハキャリア着座センサ
情報更新 : 2013/12/03
• ガイドとの併用で着座位置を設定
• ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたフッ素樹脂を使用
• 独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知
• 外乱光に強い変調光方式
• コードはクリーンコード(タルク粉なし)を使用
情報更新 : 2013/12/03