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• ガイドとの併用で着座位置を設定

• ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたフッ素樹脂を使用

• 独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知

• 外乱光に強い変調光方式

• コードはクリーンコード(タルク粉なし)を使用