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EE-SPY801 / 802

ウエハキャリア着座センサ

EE-SPY801 / 802

ウエハキャリアの着座検知

※ Web特別価格提供品

この商品について

• ガイドとの併用で着座位置を設定

• ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたフッ素樹脂を使用

• 独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知

• 外乱光に強い変調光方式

• コードはクリーンコード(タルク粉なし)を使用