非接触式のセーフティドアスイッチの設置スペース削減

安全対策のため、半導体製造装置の扉（可動ガード）に非接触式のセーフティドアスイッチを取り付ける必要がありますが、アクチュエータが大きいため、装置の設置スペースを確保したり、取り付けのために扉の形状を工夫する必要があります。また、デザイン的にもアクチュエータと装置がマッチせず、目立ってしまいます。

改善

非接触式セーフティドアスイッチD41Dには、フラット型や小型のアクチュエータを取りそろえており、省スペース化に貢献します。

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D41Dは薄型や小型のアクチュエータもラインアップしています。目立たず取り付けでき、装置の設置スペース確保に苦労しません。

薄型・小型ながらも保証動作距離(OFF→ON)は6～10mmあります（*1）。さらに3パターンの取付方法による検出が可能で、設計の自由度も高く、設計工数を削減できます。後付けの際にも柔軟な取り付けが可能です。
（*1）使用周囲温度が-10～60℃の場合