ネットワーク接続ガイドNJ/NXシリーズ EtherCAT接続ガイド
ターボ分子ポンプ用 電源装置編（TMPシリーズ）
本資料は、株式会社島津製作所製対象商品を、コントローラ NJおよびNXシリーズにEtherCATで接続する手順とその確認方法をまとめたものです。
記載している設定内容および設定手順のポイントを理解することにより、EtherCAT接続することができます。
デバイス構成
接続手順を再現するための構成機器は以下のとおりです。
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ご確認ください| 接続ガイド名称 | カタログ 番号 |
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NJ/NXシリーズ EtherCAT接続ガイドターボ分子ポンプ用 電源装置編（TMPシリーズ） |
SBCX-157A | ダウンロード |
| 更新情報 | 公開日付：2018/11/12 | 更新日付：2018/11/12 |
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