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EtherCAT 自律分散システムで、半導体装置の付加価値向上

ウェハプロセス制御の再現性を確保

ウェハプロセス制御以外を自律分散モジュール化することで、メインコントローラのリソースを、プロセス制御に集中させます。
さらに高速・低ジッタでリアルタイム性のあるEtherCATを採用することで再現性を確保します。

NX-ECT101 特長 2

装置設計リードタイム短縮

分散モジュール化することで並行開発が可能。さらにNX-ECT101を使用しEtherCATに統一することで、習得するツールが減少します。
使用するSysmac Studioは、モーション・セーフティ・センシングまでの開発環境を統合したオートメーションソフトウェアです。
そのため、設計リードタイムや設計者育成期間が短縮できます。

NX-ECT101 特長 3

フットプリントの削減

NXシリーズは、制御と安全を合わせても、幅102mm。
他社と比べ48%*1スリム化し、フットプリントの削減に貢献します。

NX-ECT101 特長 4

メンテナンス性向上

パソコンを持ち込んでツールを操作する必要がなく、SDメモリカードだけでプログラムのアップデートが可能。また、プログラムを誤操作で書き換えることがないため、簡単・確実にメンテナンスすることができます。

NX-ECT101 特長 5