業界規格
半導体製造装置のガイドライン SEMIスタンダード
SEMIは、半導体製造装置メーカーと材料メーカーの国際工業会として1970年に設立された団体です。SEMIの本部はカリフォルニア州にあり、日本を含む世界各地に事務所をもっています。
業界の自主規格であるSEMIスタンダードを制定しています。SEMIスタンダードには、材料（Mシリーズ）、設備（Fシリーズ）、フラットパネルディスプレイ（Dシリーズ）、トレーサビリティ（Tシリーズ）などの分類に応じた文書が含まれると共に、環境・健康・安全 (EHS)に関するガイドラインをSシリーズとして規定しています。これらは米国を中心に多くの装置ユーザーが採用しています。
SEMI Sシリーズの構成
| 番号 | タイトル |
|---|---|
| SEMI S1 | 装置安全ラベルの安全ガイドライン |
| SEMI S2 | 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン |
| SEMI S3 | プロセス用液体の加熱システムに関する安全ガイドライン |
| SEMI S4 | 分配キャビネット内に格納される化学物質シリンダの分離のための安全ガイドライン |
| SEMI S5 | 流量制限デバイスの安全ガイドライン |
| SEMI S6 | 半導体製造装置の排気換気に関する環境、健康、安全のためのガイドライン |
| SEMI S7 | 評価要員および評価会社の資質に関するガイドライン |
| SEMI S8 | 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン |
| SEMI S9（廃止） | SEMI S22へ移行している半導体製造装置の電気設計検証テストのガイド |
| SEMI S10 | リスクアセスメントおよびリスク評価のための安全ガイドライン |
| SEMI S11（廃止） | 半導体製造装置のミニエンバイロメントに関する環境、安全性、および健康についてのガイドライン |
| SEMI S12 | 装置の汚染除去に対する環境、健康および安全ガイドライン |
| SEMI S13 | 製造装置と共に使用することが意図された装置ユーザへの提供文書のための環境、健康、安全ガイドライン |
| SEMI S14 | 半導体製造装置に対する火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン |
| SEMI S15（廃止） | 毒性および引火性ガスの検知システム評価のための安全ガイドライン |
| SEMI S16 | 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド |
| SEMI S17 | 無人搬送台車（UTV）システムの安全ガイドライン |
| SEMI S18 | 可燃性シリコン化合物の環境、健康、および安全ガイドライン |
| SEMI S19 | 製造装置の設置、保守、サービス要員のトレーニングのための安全ガイドライン |
| SEMI S20（廃止） | 危険なエネルギーの管理のためのエネルギー遮断デバイスの識別と文書化のための安全ガイドライン |
| SEMI S21 | 作業者保護のための安全ガイドライン |
| SEMI S22 | 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン |
| SEMI S23 | 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、および材料の保全のためのガイド |
| SEMI S24 | 複数企業同時作業エリアの安全ガイドライン |
| SEMI S25 | 過酸化水素の貯蔵および取り扱いのための安全ガイドライン |
| SEMI S26 | FPD製造システムの環境、健康および安全に関するガイドライン |
| SEMI S27 | 環境、健康、安全（ESH）評価報告書の内容に関する安全ガイドライン |
| SEMI S28 | 半導体製造装置用ロボットおよびロードポートの安全ガイドライン |
| SEMI S29 | フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド |
（2021年12月現在）
