Page top

定格/性能

1チャンネルタイプ

タイプ 標準/タイマ強化 外部入力
項目 NPN出力 形E3X-ZV11 形E3X-ZV6/ZV6M 形E3X-ZV21 形E3X-ZV7
PNP出力 形E3X-ZV41 形E3X-ZV8/ZV8M 形E3X-ZV51 形E3X-ZV9
接続方式 コード引き出し 省配線コネクタ *1 コード引き出し 省配線コネクタ *1
入出力 1出力 1出力+1入力 *2
光源(発光波長) 赤色4元素発光ダイオード(625nm)
電源電圧 DC12~24V±10%リップル(p-p)10%以下
消費電力 通常モード:720mW以下
(電源電圧24V時 消費電流30mA以下/電源電圧12V時 消費電流60mA以下)
エコ機能ON:530mW以下
(電源電圧24V時 消費電流22mA以下/電源電圧12V時 消費電流44mA以下)
通常モード:720mW以下
(電源電圧24V時 消費電流30mA以下/電源電圧12V時 消費電流60mA以下)
エコ機能ON:530mW以下
(電源電圧24V時 消費電流22mA以下/電源電圧12V時 消費電流44mA以下)
エコ機能スタンバイ:390mW以下
(電源電圧24V時 消費電流16mA以下/電源電圧12V時 消費電流32mA以下)
制御出力 負荷電源電圧:DC26.4V以下、オープンコレクタ出力形
(NPN/PNP出力は、形式によって異なります)
負荷電流:100mA以下
(残留電圧 負荷電流10mA未満:1V以下、 負荷電流10~100mA:2V以下)
オフ状態電流:0.1mA以下
表示灯 7セグディスプレイ(しきい値表示:緑色+受光量表示:赤色)
表示方向:通常/反転表示切替可能
スマートチューニング表示灯(緑色)
OUT表示灯(橙色)
保護回路 電源逆接続保護、出力短絡保護、出力逆接続保護
応答時間 最速モード(SHS) 動作・復帰:各50μs
高速モード(HS) 動作・復帰:各250μs *3
標準モード(Stnd) 動作・復帰:各1ms *4
ギガパワーモード(GIGA) 動作・復帰:各16ms
感度調整 スマートチューニング【2点チューニング/パワーチューニング/パーセントチューニング(-99%~+99%)/
最大感度チューニング/フルオートチューニング/位置決めチューニング】またはマニュアル調整
相互干渉防止機能 投光周期 設定切替式(最大4台)
機能 DPC(受光量自動補正) あり
ATC(閾値自動補正) あり
タイマ タイマ機能無効/オフディレイ/オンディレイ/ワンショット/オンオフディレイ *5
形E3X-ZV11/41/6/8/21/7/9:1~9999ms
形E3X-ZV6M/8M:0.1~9999ms
ゼロリセット マイナス表示可能(しきい値もシフトします)
設定リセット イニシャルリセット(工場出荷時の状態)/ユーザリセット(セーブした状態)から選択可能
エコ機能 OFF(デジタル表示点灯)/ECO(デジタル表示消灯)から選択可能 OFF(デジタル表示点灯)/ECO(デジタル表示消灯)/
スタンバイ(デジタル表示消灯、投光停止)から選択可能
パワーチューニング設定 ON/OFFから選択可能
使用周囲照度 受光面照度 白熱ランプ:20,000lx以下、太陽光:30,000lx以下
周囲温度範囲 動作時:-25~+55℃/保存時:-30~+70℃(ただし、氷結、結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時・保存時:各35~85%RH(ただし、氷結、結露しないこと)
絶縁抵抗 20MΩ以上(DC500Vメガにて)
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min
振動(耐久) 10~55Hz 複振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
衝撃(耐久) 500m/s2 X、Y、Z各方向 3回
質量(梱包状態/本体のみ) 約95g/約65g 約45g/約20g 約95g/約65g 約45g/約20g
材質 ケース ポリカーボネート(PC)
カバー ポリカーボネート(PC)
コード 塩化ビニル(PVC)
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート

*1. 形E3X-CN11(親コネクタ3線)、形E3X-CN12(子コネクタ1線)のいずれか
*2. 入力に関する詳細は、以下となります。

有接点入力(リレー、スイッチ) 無接点入力(トランジスタ) 入力時間
NPNタイプ ON時:0Vに短絡(流出電流:1mA以下)
OFF時:開放、またはVccに短絡
ON時:1.5V以下(流出電流:1mA以下)
OFF時:Vcc-1.5V~Vcc(漏れ電流:0.1mA以下)
ON:100ms以上
OFF:100ms以上
PNPタイプ ON時:Vccに短絡(吸込電流:3mA以下)
OFF時:開放、または0Vに短絡
ON時:Vcc-1.5V~Vcc(吸込電流:3mA以下)
OFF時:1.5V以下(漏れ電流:0.1mA以下)

*3. 相互干渉防止機能 応答時間優先モード時 2台:350μs、3台:400μs / 台数優先モード時 4台:700μs
*4. 相互干渉防止機能 台数優先モード時 4台:1.6ms
*5. 形E3X-ZV6M/ZV8Mのみ選択できます。

2チャンネルタイプ

タイプ 標準 外部入力
項目 NPN出力 形E3X-MZV11 形E3X-MZV6 形E3X-MZV21
PNP出力 形E3X-MZV41 形E3X-MZV8 形E3X-MZV51
接続方式 コード引き出し 省配線コネクタ *1 コード引き出し
入出力 2出力 2出力+2入力 *2
光源(発光波長) 赤色4元素発光ダイオード(625nm)
電源電圧 DC12~24V±10%リップル(p-p)10%以下
消費電力 通常モード:820mW以下
(電源電圧24V時 消費電流35mA以下/電源電圧12V時 消費電流69mA以下)
エコ機能ON:600mW以下
(電源電圧24V時 消費電流25mA以下/電源電圧12V時 消費電流50mA以下)
通常モード:820mW以下
(電源電圧24V時 消費電流35mA以下/電源電圧12V時 消費電流69mA以下)
エコ機能ON:600mW以下
(電源電圧24V時 消費電流25mA以下/電源電圧12V時 消費電流50mA以下)
エコ機能スタンバイ:480mW以下
(電源電圧24V時 消費電流20mA以下/電源電圧12V時 消費電流40mA以下)
制御出力 負荷電源電圧:DC26.4V以下、オープンコレクタ出力形
(NPN/PNP出力は、形式によって異なります)
負荷電流:100mA以下
(残留電圧 負荷電流10mA未満:1V以下、 負荷電流10~100mA:2V以下)
オフ状態電流:0.1mA以下
表示灯 7セグディスプレイ(しきい値表示:緑色+受光量表示:赤色)
表示方向:通常/反転表示切替可能
スマートチューニング表示灯(緑色)
OUT1/2表示灯(橙色)、CH表示灯(緑色)
保護回路 電源逆接続保護、出力短絡保護、出力逆接続保護
応答時間 最速モード(SHS) 動作・復帰:各100μs
高速モード(HS) 動作・復帰:各250μs *3
標準モード(Stnd) 動作・復帰:各1ms *4
ギガパワーモード(GIGA) 動作・復帰:各16ms
感度調整 スマートチューニング【2点チューニング/パワーチューニング/パーセントチューニング(-99%~+99%)/
最大感度チューニング/フルオートチューニング/位置決めチューニング】またはマニュアル調整
相互干渉防止機能 投光周期 設定切替式(最大2台)。
または、E3X-ZV 2台(台数優先モード)とE3X-MZV 1台まで。
機能 DPC(受光量自動補正) あり
ATC(閾値自動補正) あり
タイマ タイマ機能無効/オフディレイ/オンディレイ/ワンショット
1~9999ms
ゼロリセット マイナス表示可能(しきい値もシフトします)
設定リセット イニシャルリセット(工場出荷時の状態)/ユーザリセット(セーブした状態)から選択可能
エコ機能 OFF(デジタル表示点灯)/ECO(デジタル表示消灯)から選択可能 OFF(デジタル表示点灯)/ECO(デジタル表示消灯)/
スタンバイ(デジタル表示消灯、投光停止)から選択可能
パワーチューニング設定 ON/OFFから選択可能
使用周囲照度 受光面照度 白熱ランプ:20,000lx以下、太陽光:30,000lx以下
周囲温度範囲 動作時:-25~+55℃/保存時:-30~+70℃(ただし、氷結、結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時・保存時:各35~85%RH(ただし、氷結、結露しないこと)
絶縁抵抗 20MΩ以上(DC500Vメガにて)
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min
振動(耐久) 10~55Hz 複振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
衝撃(耐久) 500m/s2 X、Y、Z各方向 3回
質量(梱包状態/本体のみ) 約100g/約75g 約45g/約20g 約100g/約75g
材質 ケース ポリカーボネート(PC)
カバー ポリカーボネート(PC)
コード 塩化ビニル(PVC)
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート

*1. 形E3X-CN21(親コネクタ4線)、形E3X-CN22(子コネクタ2線)のいずれか
*2. 入力に関する詳細は、以下となります。

有接点入力(リレー、スイッチ) 無接点入力(トランジスタ) 入力時間
NPNタイプ ON時:0Vに短絡(流出電流:1mA以下)
OFF時:開放、またはVccに短絡
ON時:1.5V以下(流出電流:1mA以下)
OFF時:Vcc-1.5V~Vcc(漏れ電流:0.1mA以下)
ON:100ms以上
OFF:100ms以上
PNPタイプ ON時:Vccに短絡(吸込電流:3mA以下)
OFF時:開放、または0Vに短絡
ON時:Vcc-1.5V~Vcc(吸込電流:3mA以下)
OFF時:1.5V以下(漏れ電流:0.1mA以下)

*3. 相互干渉防止機能使用時:700μs
*4. 相互干渉防止機能使用時:1.6ms

検出距離

ねじ型

検出方式 検出方向 サイズ 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 ライトアングル M4 形E32-T11N 2M 2,000 1,000 700 280
形E32-LT11N 2M 4,000 * 3,500 2,300 920
ストレート 形E32-T11R 2M 2,000 1,000 700 280
形E32-LT11 2M 4,000 * 4,000 * 2,700 1,080
形E32-LT11R 2M 4,000 * 3,500 2,300 920
反射形 ライトアングル M3 形E32-C31N 2M 110 50 46 14
形E32-C21N 2M 290 130 90 39
M4 形E32-D21N 2M 840 350 240 100
M6 形E32-C11N 2M 780 350 320 100
形E32-LD11N 2M 840 350 240 100
ストレート M3 形E32-D21R 2M 140 60 40 16
形E32-C31 2M 330 150 100 44
形E32-C31M 1M
M4 形E32-D211R 2M 140 60 40 16
M6 形E32-D11R 2M 840 350 240 100
形E32-CC200 2M 1,400 600 400 180
形E32-LD11 2M 860 360 250 110
形E32-LD11R 2M 840 350 240 100

*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

円柱型

検出方式 サイズ 検出方向 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 φ1 トップビュー 形E32-T223R 2M 450 250 150 60
φ1.5 形E32-T22B 2M 680 400 220 90
φ3 形E32-T12R 2M 2,000 1,000 700 280
サイドビュー 形E32-T14LR 2M 750 450 260 100
反射形 φ1.5 トップビュー 形E32-D22B 2M 140 60 40 16
φ1.5+φ0.5 形E32-D43M 1M 28 12 8 4
φ3 形E32-D22R 2M 140 60 40 16
形E32-D221B 2M 300 140 90 40
形E32-D32L 2M 700 300 200 90
φ3+φ0.8 形E32-D33 2M 70 30 20 8

フラット型

検出方式 検出方向 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 トップビュー 形E32-T15XR 2M 2,000 1,000 700 280
サイドビュー 形E32-T15YR 2M 750 450 260 100
フラットビュー 形E32-T15ZR 2M
反射形 トップビュー 形E32-D15XR 2M 840 350 240 100
サイドビュー 形E32-D15YR 2M 200 100 52 24
フラットビュー 形E32-D15ZR 2M

スリーブ型

検出方式 検出方向 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 形E32-T24R 2M 170 100 50 20
形E32-T24E 2M 450 250 150 60
トップビュー 形E32-T33 1M 150 90 50 20
形E32-T21-S1 2M 510 300 170 68
形E32-TC200BR 2M 2,000 1,000 700 280
反射形 サイドビュー 形E32-D24R 2M 70 30 20 8
形E32-D24-S2 2M 120 53 45 14
トップビュー 形E32-D43M 1M 28 12 8 4
形E32-D331 2M 14 6 4 2
形E32-D33 2M 70 30 20 8
形E32-D32-S1 0.5M 63 27 18 7
形E32-D31-S1 0.5M
形E32-DC200F4R 2M 140 60 40 16
形E32-D22-S1 2M 250 110 72 30
形E32-D21-S3 2M
形E32-DC200BR 2M 840 350 240 100
形E32-D25-S3 2M 250 110 72 30

小スポット反射

種類 スポット径 中心距離
(mm)
形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
可変スポット φ0.1~0.6 6~15 形E32-C42 1M+形E39-F3A 6~15mmでスポット径φ0.1~0.6mm
φ0.3~1.6 10~30 形E32-C42 1M+形E39-F17 10~30mmでスポット径φ0.3~1.6mm
平行光 φ4 0~20 形E32-C31 2M+形E39-F3C 0~20mmでスポット径φ4mm以下
形E32-C31N 2M+形E39-F3C
一体型 φ0.1 5 形E32-C42S 1M 5mmでスポット径φ0.1mm
φ6 50 形E32-L15 2M 50mmでスポット径φ6mm
小スポット φ0.1 7 形E32-C41 1M+形E39-F3A-5 7mmでスポット径φ0.1mm
φ0.5 形E32-C31 2M+形E39-F3A-5 7mmでスポット径φ0.5mm
形E32-C31N 2M+形E39-F3A-5
φ0.2 17 形E32-C41 1M+形E39-F3B 17mmでスポット径φ0.2mm
φ0.5 形E32-C31 2M+形E39-F3B 17mmでスポット径φ0.5mm
形E32-C31N 2M+形E39-F3B
φ3 50 形E32-CC200 2M+形E39-F18 50mmでスポット径φ3mm
形E32-C11N 2M+形E39-F18

ハイパワー

種類 検出方向 開口角 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形
一体型
ライトアングル 15° 形E32-LT11N 2M 4,000 *2 3,500 2,300 920
トップビュー 10° 形E32-T17L 10M 20,000 *1 20,000 *1 20,000 *1 8,000
15° 形E32-LT11 2M 4,000 *2 4,000 *2 2,700 1,080
形E32-LT11R 2M 4,000 *2 3,500 2,300 920
サイドビュー 30° 形E32-T14 2M 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 1,800
透過形
レンズ装着
ライトアングル 12° 形E32-T11N 2M+形E39-F1 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 2,000
形E32-T11N 2M+形E39-F16 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 3,600
トップビュー 12° 形E32-T11R 2M+形E39-F1 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 2,000
形E32-T11R 2M+形E39-F16 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 3,600
サイドビュー 60° 形E32-T11R 2M+形E39-F2 1,450 800 500 200
トップビュー 12° 形E32-T11 2M+形E39-F1 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 1,860
形E32-T11 2M+形E39-F16 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2
サイドビュー 60° 形E32-T11 2M+形E39-F2 2,300 1,320 860 320
トップビュー 12° 形E32-T51R 2M+形E39-F1 4,000 *2 4,000 *2 3,900 1,500
形E32-T51R 2M+形E39-F16 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2
サイドビュー 60° 形E32-T51R 2M+形E39-F2 1,400 720 500 200
トップビュー 12° 形E32-T81R-S 2M+形E39-F1 4,000 *2 4,000 *2 2,700 1,000
形E32-T81R-S 2M+形E39-F16 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 1,800
サイドビュー 60° 形E32-T81R-S 2M+形E39-F2 1,000 550 360 140
トップビュー 12° 形E32-T61-S 2M+形E39-F1 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 1,800
形E32-T61-S 2M+形E39-F16 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 3,100
サイドビュー 60° 形E32-T61-S 2M+形E39-F2 1,680 900 600 240
トップビュー 12° 形E32-T51 2M+形E39-F1-33 4,000 *2 4,000 *2 2,300 1,400
形E32-T51 2M+形E39-F16 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2
反射形
一体型
トップビュー 形E32-D16 2M 40~2,800 40~1,400 40~900 40~480

*1. ファイバ長が片側10mのため、20,000mmとしています。
*2. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

狭視界

検出方式 検出方向 開口角 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 1.5° 形E32-A03 2M 3,220 1,780 1,200 500
形E32-A03-1 2M
3.4° 形E32-A04 2M 1,280 680 450 200
形E32-T24SR 2M 4,000 * 2,200 1,460 580
形E32-T24S 2M 4,000 * 2,600 1,740 700
形E32-T22S 2M 4,000 * 3,800 2,500 1,000

*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

背景をとらずに検出

検出方式 検出方向 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 フラットビュー 形E32-L16-N 2M 0~15 0~12
形E32-L24S 2M 0~4
サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4~9(中心7.2)

透明体検出(回帰反射形)

検出方式 特長 サイズ 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
回帰反射形 フィルム検出 M3 形E32-C31 2M
+形E39-F3R
+形E39-RP37
250 200
角型 形E32-R16 5M 150~1,500
ねじ型 M6 形E32-R21 2M 10~250
ナット型 形E32-LR11NP 2M
+形E39-RP1
1,350 1,200 1,000 550

透明体検出(限定反射形)

検出方式 特長 検出方向 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 小型 フラットビュー 形E32- L24S 2M 0~4
標準 形E32-L16-N 2M 0~15 0~12
ガラス基板
アライメント70℃
形E32-A08 2M 10~20
標準/長距離 形E32-A12 2M 12~30
サイドビュー形状 サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4~9(中心7.2)
ガラス基板
マッピング70℃
トップビュー 形E32-A09 2M 15~38

耐薬品/耐油

検出方式 種類 検出方向 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 耐油 ライトアングル 形E32-T11NF 2M 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 2,200
耐薬品/油 トップビュー 形E32-T12F 2M 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 1,600
形E32-T11F 2M 4,000 *1 4,000 *1 2,600 1,000
サイドビュー 形E32-T14F 2M 1,400 800 500 200
耐薬品/油 150℃ トップビュー 形E32-T51F 2M 4,000 *1 2,800 1,800 700
反射形 半導体:洗浄・現像・
エッチング 60℃
トップビュー 形E32-L11FP 5M レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから19~31mm(推奨検出距離:22mm)
半導体:剥離85℃ 形E32-L11FS 5M レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから32~44mm(推奨検出距離:35mm)
耐薬品/油 形E32-D12F 2M ー *2 190 130 60
ケーブルのみ耐薬品 形E32-D11U 2M 840 350 240 100

*1. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
*2. 検出物体が無くてもフッ素樹脂に反射して入光状態になります。

耐屈曲

種類 サイズ 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 φ1.5 形E32-T22B 2M 680 400 220 90
M3 形E32-T21 2M
M4 形E32-T11 2M 2,500 1,350 900 360
角型 形E32-T25XB 2M 500 300 170 70
反射形 φ1.5 形E32-D22B 2M 140 60 40 16
M3 形E32-D21 2M
φ3 形E32-D221B 2M 300 140 90 40
M4 形E32-D21B 2M
M6 形E32-D11 2M 840 350 240 100
角型 形E32-D25XB 2M 240 100 60 30

耐熱

種類 耐熱温度 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 100℃ 形E32-T51R 2M 1,600 800 560 225
150℃ 形E32-T51 2M 2,800 1,500 1,000 400
200℃ 形E32-T81R-S 2M 1,000 550 360 140
350℃ 形E32-T61-S 2M 1,680 900 600 240
反射形 100℃ 形E32-D51R 2M 670 280 190 80
150℃ 形E32-D51 2M 1,120 450 320 144
200℃ 形E32-D81R-S 2M 420 180 120 54
300℃ 形E32-A08H2 2M 10~20
形E32-A09H2 2M 20~30(中心25)
350℃ 形E32-D611-S 2M 420 180 120 54
形E32-D61-S 2M
400℃ 形E32-D73-S 2M 280 120 80 36

エリア検出

検出方式 タイプ 検出幅 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 エリア 11mm 形E32-T16PR 2M 3,100 1,700 1,120 440
形E32-T16JR 2M 2,750 1,500 960 380
30mm 形E32-T16WR 2M 4,000 * 2,600 1,700 680
反射形 アレイ 11mm 形E32-D36P1 2M 700 300 200 90

*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

液面レベル検出

検出方式 パイプ径 特長 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
パイプ取りつけ φ3.2/6.4/9.5 安定残量検出 形E32-A01 5M 適用パイプ:φ3.2/6.4/9.5の透明パイプ、推奨肉厚1mm
φ8~10 複数連装使用 形E32-L25T 2M 適用パイプ:φ8~10mmの透明パイプ、推奨肉厚1mm
制限なし 大型パイプ 形E32-D36T 5M 適用パイプ:透明パイプ、径の制限なし
接液(耐熱200℃) - 形E32-D82F1 4M 接液タイプ

耐真空

検出方式 耐熱温度 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 120℃ 形E32-T51V 1M 720 400 260 100
形E32-T51V 1M+E39-F1V 2,000 * 2,000 * 1,360 520
200℃ 形E32-T84SV 1M 1,760 950 640 260

*ファイバ長が片側1mのため、2,000mmとしています。

FPD/半導体/太陽電池業界

検出方式 アプリケーション 使用温度 形式 検出距離(mm)
GIGAモード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 ガラス有無検出 70℃ 形E32-L16-N 2M 0~15 0~12
ガラス基板アライメント 形E32-A08 2M 10~20 -
300℃ 形E32-A08H2 3M
70℃ 形E32-A12 2M 12~30
ガラス基板マッピング 形E32-A09 2M 15~38
300℃ 形E32-A09H2 2M 20~30(中心25)
WET工程
(洗浄、現象、エッチング)
60℃ 形E32-L11FP 5M レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから19~31mm(推奨検出距離:22mm)
WET工程(剥離) 85℃ 形E32-L11FS 5M レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから32~44mm(推奨検出距離:35mm)
透過形 ウエハマッピング 70℃ 形E32-A03 2M 3,220 1,780 1,200 500
形E32-A03-1 2M
形E32-A04 2M 1,280 680 450 200
形E32-T24SR 2M 4,000 * 2,200 1,460 580
形E32-T24S 2M 4,000 * 2,600 1,740 700

*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。