製造環境のまるごと見える化。
局所クリーンの温湿度やパーティクル、差圧など見えない製造環境の集中管理に最適。
常に変化する製造環境を常時計測することで、最適なクリーン環境を維持できます。
また、業界初の除電しながら除塵できるエアクリーンユニット（ファンフィルタユニット）もラインナップ。

製造環境データの見える化（小型・インライン計測）

パーティクル・ダスト ＜高精度計測タイプ＞

エアパーティクルセンサ　ZN-PD-S

微粒子パーティクルや粗粒子ダストを高精度計測。常時計測でコンタミ対策にも最適。

温度・湿度 ＜高精度計測タイプ＞

温湿度ステーション　
ZN-THX21-S（ステーション部）/ZN-THS11-S , ZN-THS17-S（センサヘッド部）

製造ラインや装置周辺の温度・湿度を高精度に計測。計測データは、LAN経由で収集でき、
データ回収や転記業務を効率化できます。

差圧値 ＜高精度計測タイプ＞

微差圧ステーション　
ZN-DPX21-S（ステーション部）/ZN-DPS11-S , ZN-DPS15-S（センサヘッド部）

クリーンルームやブースの内と外の差圧を高精度に計測。計測データは、LAN経由で収集。
アラーム出力を搭載しているので、様々な管理システムを簡単に構築できます。

計測データを集中管理

環境見える化ソフト　
ZN-SW11-S

各商品で計測したデータを一括でロギング。計測データを一覧で表示したり、マップ上に計測値をデジタル表示したりできます。

温度・湿度
＜エアパーティクルセンサ接続タイプ＞

エアサーモセンサ　ZN-TH11-S

温度・湿度をパーティクルと同時に高精度計測

除塵・除電対策

防塵

エアクリーンユニット（ファンフィルターユニット） ZN-A　

独自のファン構造とこだわりの層流設計で、大風量と高性能を両立。大風量と薄型・高性能を両立したファンフィルタユニットに12m³/minタイプ登場。
クリーンブースのサイズや用途に合わせてお選びいただけます。

除電

イオナイザユニット　ZN-J

各商品で計測したデータを一括でロギング。計測データを一覧で表示したり、マップ上に計測値をデジタル表示したりできます。

風量制御

エアパーティクルセンサ ＜計測値フィードバックタイプ＞ ZN-P

測定結果をエアクリーンユニットにフィードバックし、風量を制御。省エネしながら最適なクリーン環境を維持。