1.耐真空ファイバセンサ とは

フランジは真空側を密閉する構造となっています。
真空側のファイバやフランジにはアウトガスの発生がない材質を使用しています。
また、クリーンルームで検査し、部品洗浄した上で密封パックして出荷しています。



・真空側ファイバ とは
真空槽内で検出を行うファイバセンサです。

・大気側ファイバ とは
真空槽の外、大気側でファイバアンプに接続するファイバ素線です。