レーザー干渉計(キーサイト・テクノロジー株式会社製)との接続事例

レーザ干渉計からのフィードバックによる、超高精度位置制御システム事例

・レーザ干渉計の出力をPMACのパラレルインタフェースでダイレクトに接続
・サーボ周期による高速サンプリングによる計測と、ハンドシェイクによる確実な計測が可能
・超精密ステージの位置決め用途など、ナノオーダの位置決め実現に貢献します
・物理的なスケールの無いレーザー測長を使用することにより、ワーク位置における超精密位置決めの実現を可能にします

レーザ干渉計からのフィードバックによる、超高精度位置制御システム事例

接続対応機種

形式CK3MCK3ENY51□-APowerUMAC
接続可否

レーザ干渉計のXYステージへの適用事例

・XYステージ制御において、X軸、Y軸(Y1軸、Y2軸)の3ポイントを計測するシステム事例になります。
・3ポイント計測することで、XY各軸の位置計測に加えてステージの姿勢計測が可能になります。

レーザ干渉計のXYステージへの適用事例

※レーザ干渉計関連の製品イメージ、システム構成は、キーサイト・テクノロジー株式会社の許諾を得て、同社資料より転載いたしました。

干渉計計測値の波長補正

大気中のレーザー測長では、使用環境(温度、気圧、湿度)により波長が変化するため、波長補正処理が必要です。
PMACコントローラは、補正・スケーリング機能を有するため、レーザー測長における波長補正処理にも対応可能です。