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高度化、複雑化したプロセス制御のシステムで
お困りではありませんか?

課題1.ウエハ処理時に思うような制御特性が出せない。
課題2.上位コントローラと調節計や、調節計同士の通信プログラムの設計が大変。
課題3.専用コントローラではちょっとした改造にも大きな費用がかかってしまう。

アプリケーション例

さまざまなアドバンスト制御が可能。
しかも計器ブロックプログラムで簡単エンジニアリング。

計器ブロックプログラムで温調器のような簡単なPID制御プログラムからプログラム制御、カスケード制御、フィードフォワード制御などのアドバンスト制御まで簡単に対応可能です。

計器ブロックプログラム
通信プログラム不要

シーケンス制御を実行するエンジンとアナログ量を制御するエンジンを融合。
通信プログラム不要で、高速通信が可能です。

 

超微細加工におけるプロセス・温度制御システムの「高精度・コストダウン」を実現。

対象商品