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面状の被加熱体の熱処理で、
温度バラツキでお困りではありませんか?

課題1. 面状の温度を均一に制御したいが温度のバラツキがある。

アプリケーション例

面内均一制御で高品質化

大型のウエハやガラス基板などの大型化にともない、多数のヒータを用いて温度制御する用途が多くなっています。温度が上昇する過程で、隣接の影響により、面内の温度分布にムラが生じます。
オムロンでは傾斜温度制御®アルゴリズムにより、従来の制御温度方式に比べ温度の影響をなくし、同一面内の熱均一性を実現します。その結果、立ち上げ時の温度差(温度バラツキ)を1/5にでき、外乱時の温度差収束時間を1/2とし、ワークの熱処理ムラをなくして熱処理の高品質化を可能にします。(当社比)
また、均一な温度制御だけでなく、任意の温度分布を作ることも可能です。

本論文では、面の温度分布を均一化するために、PID制御をベースとした温度の傾斜・平均制御系を新たに構築し、その有効性について述べる。

温度分布

傾斜温度制御とは
 

オンリーワン技術「傾斜温度制御Rアルゴリズム」で面内均一 制御を実現し、製品歩留まりの改善にお役立ちします。

対象商品