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トピックス

新商品 2017年4月発売

ファイバ同軸変位センサ ZW-5000シリーズ

まるで接触子のない光プローブ 白色共焦点方式

白色共焦点方式を用いたZW-7000シリーズに加えて、新たに小スポットタイプZW-5000が追加されました。
さらに幅広いアプリケーションに対応します。また延長ファイバケーブルを拡充し、大型装置にもご利用いただけます。

ZW-5000シリーズ ZW-5000 SEMI/FPD業界のお客様のご要望にお応えする小スポットタイプ 最小φ10μm以内

ウェハパターンの微細ストリート幅位置検出や、薄い液晶シートの貼り合わせアライメントなど、SEMI/FPD業界で年々、要求精度の上がる形状再現性を実現しました。

小スポットタイプ 最小φ10μm以内

 

大型装置への導入ご要望にお応えする延長ファイバケーブル 10m/20m/30m

従来の2m、5mに加え、10m、20m、30mをラインアップしました。センサからコントローラまでの配線の長距離引き回しを柔軟に行え、大型装置への導入に対応します。ZW-7000シリーズでもご利用いただけます。

延長ファイバケーブル

 

部品から完成品まで、品質検査のすべてに

生産タクトを落とさず品質検査するために、白色共焦点方式のメリットを活かし、
さまざまな材質や形状が混在しても「移動しながら安定測定」ができます。

さまざまな材質や形状が混在しても「移動しながら安定測定」ができます

*1.センサヘッド形ZW-S7010/ZW-S5010の場合の代表値です。

形状測定

効率的な配置・移動で、生産タクトアップ

白色共焦点方式のメリットを活かした超小型・軽量でスペース制約のある装置や移動部への取り付けが容易です。
生産タクトアップに貢献します。

生産タクトアップに貢献します

機器選定の手間を低減

ZW-7000/5000シリーズなら、測定する対象に合わせたセンサヘッドの選択が不要です。
購入間違いや設計の煩わしい手間を軽減し、立ち上げ工数や在庫コストの低減に貢献します。

機器選定の手間を低減

センサヘッド取付調整の工数削減

白色同軸共焦点の原理により、ラフな設置でも安定測定できるので、対象物に応じたセンサの取付調整工数を削減できます。

機器選定の手間を低減

さらに詳しい内容は、商品カタログをダウンロード! Free

ファイバ同軸変位センサ ZW-7000/5000シリーズカタログ