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ZN-PD-S

エアパーティクルセンサ

ZN-PD-S

クリーンルームやクリーンブースのパーティクルやダストを簡単に計測できるセンサ。計測機器に迫る高精度計測が可能。パーティクルカウンタに比べ、超小型なので、狭い場所でも設置可能

※ Web特別価格提供品

センシングコンポ編 p.2068

製品の品質に影響を与えるダストとパーティクル。
品質に影響を及ぼす2つの要因を常時監視。

ZN-PD-S 特長 1

浮遊する微粒子と落下する粗粒子は挙動が異なるため相関性がありません。したがって、それぞれを正しく計測する必要があります。
微粒子タイプはルームの壁等に設置、粗粒子タイプは製品加工点付近に設置して計測することをおすすめします。

ZN-PD-S 特長 3
ZN-PD-S 特長 4

こんなところで貢献しています

ZN-PD-S 特長 5

計測器に迫る高精度計測

整流化を追求した内部構造と大吸引ファンにより2.83ℓ/min※1の吸引量を確保。高精度変位センサで培ったオムロンのレーザ光学設計技術により、計測器並みの精度を実現しました。※2

ZN-PD-S 特長 6

吸気エアにレーザを照射し、粒子からの散乱光を受光して計測します。
※1 微粒子計測タイプの吸引量。
   粗粒子計測タイプの吸引量は6.0ℓ/min です。
※2 クラス1000 以上の環境でご使用ください。クラス100 以下の環境では測定誤差の影響が大きくなります。また、絶対量管理は計測器であるパーティクルカウンタを使用し、本センサは傾向監視にご使用ください。

ZN-PD-S 特長 8

ダスト計測と発塵源調査を1台で実現

漏斗形状の吸引部と大吸引ファンが落下するダストを効率的に吸引。大きなダストはプレフィルタで捉えます。
また、引き出し構造のトラップボックスに両面テープを貼り付けすれば、吸引したダストを捕捉することができます。
テープを拡大鏡などで観察すれば、発塵源の特定に役立ちます。

ZN-PD-S 特長 10

※大きい粒子ほどよく捕捉されます。
  粒子の種類によっては、捕捉できない場合もあります。

コンパクト設計さらにメンテナンスコストも削減

手のひらに乗るコンパクトサイズなので、壁掛けなどの設置も簡単。
また、短期間で交換が必要な外付けポンプを使用していないためメンテナンスコストも削減できます。

ZN-PD-S 特長 12

拡張可能な多様なインターフェース

入出力には、トリガ入力・アラーム出力2・エラー出力を備え、発塵レベル設定や警報の出力、
時間内測定など多彩に活用いただけます。

ZN-PD-S 特長 14

トリガ入力で必要なときだけ計測したり管理レベルに応じた警報を出力できます。

エアパーティクルセンサ一体型温湿度センサも別途ご用意。
こだわりの温湿度計測を実現します。

ZN-PD-S 特長 15

エアパーティクルセンサと接続することで、温度・湿度・簡易露点を簡単に表示することができます。
しかも、センシング性能はクラス最高レベル。広範囲な測定レンジと高精度な湿度計測を実現しました。

※エアサーモセンサと接続可能なパーティクルセンサに関しては制約事項があります。「定格/性能」欄をご確認ください。
  簡易露点は、温度と湿度の計測値より算出します。

校正サービスにも対応

ご希望に応じて校正証明書を発行します。(当社まで製品の返送が必要となります。)
また、製品ご購入時に校正証明書をご希望される場合は、校正証明書付きの形式をお選びください。
※パーティクルセンサZN-PD□□-Sシリーズの校正サービスでは有寿命部品の交換および調整をして返却いたします。
 ただし、製品内部の汚染や基板の腐食がみられる場合などは、修理困難と判断する可能性があります。検査を実施した後で修理困難が判明した場合は、検査結果に応じた証明書の発行のみとなります。
 (この場合、修理する場合と同様の料金をいただきますがご了承ください。)

ZN-PD-S 特長 16