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• 半導体FOUPカセットの規格に準拠し、底面の材質・色・反射率の影響を受けずに、FOUPカセットの着荷を確実に検出

• 薄型設計により、搬送アームなどにも搭載可能

• 4方向の表示灯により視認性を向上

• アクチュエータの動作を光学的に検出するため長寿命(機械的寿命500万回以上)

• NPN/PNP両出力タイプをラインナップ

• 屈曲性に優れたロボットコードタイプもラインナップ