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半導体FOUPカセットの規格に準拠し、底面の材質・色・反射率の影響を受けずに、FOUPカセットの着荷を確実に検出

薄型設計により、搬送アームなどにも搭載可能

4方向の表示灯により視認性を向上

アクチュエータの動作を光学的に検出するため長寿命(機械的寿命500万回以上)

NPN/PNP両出力タイプをラインナップ

屈曲性に優れたロボットコードタイプもラインナップ