ワークの熱処理温度にムラがあると仕上がりが安定せず歩留まりが低下します。オムロンのオンリーワン技術「傾斜温度制御アルゴリズム」なら、熱処理温度の面内均一制御が可能になり、熱処理の高品質化がはかれるほか、温度が安定するまでに発生していたエネルギーロスの低減や、ヒータ間の干渉による調整工数の低減を実現。バッチ炉やガラス基板ホットプレートなど、精緻なプロセス制御に威力を発揮します。

面内均一制御で高品質化

面内均一制御と希望の温度分布も自在に設定が可能

傾斜温度の仕組みとプログラム例

傾斜温度制御は、多点で温度制御を行う場合、相互に干渉する複数の点の温度を関係づけ、つまり平均温度とチャネル間の温度差＝傾斜温度）に分けて制御します。これにより面内温度の均一化を実現します。

ループコントローラでの傾斜温度制御の特長

ループコントローラでは、傾斜PVモード変換、傾斜SPモード変換、傾斜PID、傾斜前置補償の計器ブロックを組み合わせることで、傾斜温度制御を実現可能です。
●10点/グループの傾斜温度制御が可能。計器ブロックの組み合わせにより、複数グループの使用も可能です。
●最小演算周期は10msと高速性を実現。（1グループのみ使用時）
●傾斜温度のオートチューニング（非干渉セットアップ）により、自動的に傾斜前置補償および傾斜PIDのパラメータがチューニングできます。