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モジュール型温度調節計（傾斜温度制御タイプ）

EJ1G

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面内均一制御を実現する『傾斜温度制御』を形EJ1に搭載（「傾斜温度制御」はオムロン株式会社の登録商標です）

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歩留まり改善、省エネ・省工数によるTCOの削減に貢献し、最適温度コントロールをご提案します。

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面内均一*制御を実現する「傾斜温度制御」

ワークの熱処理温度にムラがあると仕上がりが安定せず歩留まりが低下します。オムロンのオンリーワン技術「傾斜温度制御アルゴリズム」なら、熱処理温度の面内均一制御が可能になり、熱処理の高品質化がはかれるほか、温度が安定するまでに発生していたエネルギーロスの低減や、ヒータ間の干渉による調整工数の低減を実現。バッチ炉やガラス基板ホットプレートなど、精緻なプロセス制御に威力を発揮します。

※面内均一： 多点温度制御において、半導体ウエハ、液晶パネルのような平面温度の均一性が求められる熱処理制御の過程や状態を示します。

面内均一制御と希望の温度分布も自在に設定が可能

全体の温度が安定するまでに発生していたエネルギーロスを低減

傾斜温度制御は、ヒータ間の干渉を考慮して制御します

＊上図は2chの温度制御での例です。　〈PAT出願済〉

傾斜温度制御とは

干渉のある制御対象の多点温度制御（例：多点ヒータによる面温度の多点制御）において、全点の平均温度と各点温度差を直接制御しながら、かつ、ある点の制御出力の他点への干渉を打ち消す制御方式です。

多点の温度を入力し、全点の平均温度、および各点となりとの傾斜温度（温度差）を算出して、各々をPVとしたPID制御を行います。さらに、各PIDの操作出力が他のPIDの制御性に影響を与えないように（干渉を打ち消すように）、操作出力を配分します。これにより、各点ヒータの、別の測定点への干渉を低減させながら、複数点の温度を均一に上昇させ制御することが可能です。

EJ1傾斜温度制御タイプの特長

1. 最小2chから最大32chの傾斜温度制御が可能
　　●2chの傾斜温度制御で最大16グループ／32chの
　　　傾斜温度制御が最大2グループ可能
　　●傾斜温度制御または2自由度PID制御がグループ単位で設定可能
2. ch毎に外乱を抑える外乱オーバーシュート調節機能が使用可能
3. 傾斜温度制御でも形G3ZAを使用し、最適サイクル制御が可能

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