ZS-HL スマートセンサ（2次元CMOSレーザタイプ）/特長：オムロン制御機器

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センサ

スマートセンサ（2次元CMOSレーザタイプ）

超ロングレンジから超高精度までコアの品質を支える超高性能タイプ

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特長	種類／価格	定格／性能	外形寸法	用途／事例
システム構成	購入／形式一覧

●測定中芯距離20mm～1500mmを品揃え
●最大分解能0.02μm（0.001μm）を実現
●応答速度最速110μs
●パラレル出力が可能

最適サイズ/安定性
ヘッドサイズ

性能重視の最適なヘッドサイズと3点止め※での保持機構が、抜群のセンシング安定性を確保。

※ZS-HLDS2を除く。

材質間誤差低減
2次元CMOS

CCDでは受光光量過多になると隣の画素に電荷が溢れます。
CMOSではこのような現象がないため材質による過多による光の変動の影響を受けません。

優れた移動分解能
レンズ高解像度化

受光レンズの高感度化と高解像度化により、光学系を最適にすることで移動分解能（ワーク表面位置による誤差）を大幅に低減しました。

計測精度を決めるリニアリティ特性の固体ばらつきを低減。
これにより、あらゆる検出対象物への導入がしやすくなりました。

業界初の1500ｍｍロングレンジが、あきらめていたポイントを計測可能に。

※周囲環境の明るい場所では、　ご使用できない場合があります

傾きやばたつきのあるワークに対しても安定計測が可能に。

専用非球面レンズを新規開発するとともに、光学系構造を正反射ワークに最適設計。
それにより透明・正反射ワーク計測時のワーク傾き余裕度と安定性を大幅に向上しました。

半導体ウエハ、ガラスなど精度が要求される計測に、圧倒的な性能

驚異の静止計測精度0.001μmがこのクラス最高の性能を提供いたします。

2008年 3月 17日現在