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米国の半導体製造装置規格 SEMI-S2- 0200では
・誤りによる緊急遮断を避けるためガードの取り付けあるいは非常停止押しボタンを誤操作のおこらない位置に配置することが求められています。 ・「EMO」あるいは「EMERGENCY OFF」のラベルを明示するよう求められています。
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