EE-SPY801 / 802 ウエハキャリア着座センサ/特長：オムロン制御機器

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EE-SPY801 / 802

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ウエハキャリアの着座検知

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特長

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2012年 01月 05日更新

特長

ガイドとの併用で着座位置を設定

ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたフッ素樹脂を使用

独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知

外乱光に強い変調光方式

コードはクリーンコード（タルク粉なし）を使用

2012年 01月 05日更新

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