用途別
特殊用途専用のタイプ
- 液面レベルセンサ(アンプ内蔵パイプ取りつけタイプ)
EE-SPX613 出力動作切替機能と感度切替機能がついて使いやすくなった液面レベルセンサ
- ウエハキャリア着座センサ
EE-SPY801 / 802 ウエハキャリアの着座検知
- FOUP着座センサ 押ボタンタイプ
EE-SA701 / 801 押ボタン式の採用により、検出の難しかった物体を確実に検出可能
- パイプ取付用液面レベルフォト・マイクロセンサ
EE-SPX311 / 411 取付が簡単で感度調整も不要。透明パイプ内の液面検知用センサ
※この商品は2012年03月に生産終了予定です。
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フォト・マイクロセンサ （15）
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