ウェハのノッチと偏芯の位置検出

用途・事例集

均一なエリアビームのサイドビューファイバセンサです。

ウェハのノッチや偏心による遮光量変化を利用して、ノッチと偏芯の位置を検出できます。
幅11mmの検出エリア内で、ウェハによる遮光量が比例しています。
検出エリア内は、特殊な光学部品により均一なエリアビームとなっています。

事例番号：91

従来のエリアセンサは、十分に均一なビームでないために、ウェハのノッチや偏心を正確には検査できませんでした。

均一なラインビームにより2出力のあるファイバアンプを使用すれば、ウェハのノッチと偏芯の同時検査が可能です。
【使用形式】
ファイバユニット：形E32-T16J
デジタルファイバセンサ：形E3X-DA-S