パイプや液体の色、また液面の泡に影響されないパイプ取り付けの静電容量形液面レベルセンサです。
パイプや液体の色、液面の泡などに影響されずに薬液槽の液面レベルを安定検出できます。
適応パイプ径はφ8〜11mm用とφ12〜26mm用の2種類を用意しました。
従来、光学式センサではパイプや液体の色、液面の泡などに影響されることがあり、安定的に液面レベル検出ができませんでした。
静電容量形近接センサを使用します。パイプや液体の色、液面の泡に影響されることなく、適応パイプ径の範囲も広い液面レベルセンサです。レジスト液のレベル制御で多段的に最小4mmのレベル差を検出可能です。
E2K-L
パイプ・液体の色に影響を受けない液面レベルセンサ