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真空槽内のガラス基板の通過検知
ガラスウェハなどの透明体検出用光電センサです。
真空槽内を通過するガラスウェハをビューポート越しに検出できます。
透明ガラスのわずかな信号差を識別できる光学・回路技術を採用しました。
マイカタログに追加解決のポイント
従来の回帰反射形光電センサでは、わずかな光の減衰しかない透明ガラスを安定して検出することは困難でした。
導入効果
独自の光学・回路技術の最適化により透明ガラスを安定して検出します。
使用商品
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透明体検知用光電センサ
E3S-R
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ガラスウエハなど透明物体の検出に最適
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