薬液洗浄内でのウェハを安定検出

用途・事例集

耐薬品・耐油性に優れたフッ素樹脂ボディの静電容量形近接センサです。

薬液洗浄工程でウェハの通過検出ができます。
オールフッ素樹脂加工により抜群の耐薬品・耐油性のある静電容量形近接センサです。
感度ボリウム付きでワークに合わせて検出距離を可変できます。

事例番号：47

従来のセンサは、薬品飛散などの影響を受けて故障することがありました。
また、フッ素樹脂タイプの光学式センサは、レンズ面への薬液残渣や洗浄水滴の影響を受けて安定検出ができないことがありました。

フッ素樹脂ボディを採用していますので、耐薬品・耐油性に優れ、設置環境を選びません。
静電容量形により、シリコンウェハだけでなくガラスウェハも検出可能です。