薬液洗浄工程でのウェハの通過検知

用途・事例集

薬液洗浄工程で使用できる耐薬品性ファイバセンサです。

薬液洗浄工程でウェハの通過検知ができます。
耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用したファイバセンサです。
また、細径のサイドビュータイプのために狭い場所にも容易に設置できます。

事例番号：43

従来、耐薬品性とサイドビューによる省スペースを両立したセンサがありませんでした。

耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用したファイバセンサで、細径のサイドビュータイプのために狭い場所にも容易に設置できます。
【使用形式】
ファイバユニット：形E32-T14F
デジタルファイバセンサ：形E3X-DA-S