RFIDを用いたウェハの製造工程管理

用途・事例集

ウェハトレイに設置したRFタグ（ICタグ）に生産情報を付加して工程管理を行います。

･トレイに取り付けたRFタグ（ICタグ）で、客先別に異なるウェハや加工工程を管理します。
･客先別、工程ごとの情報や製造指示をRFタグ（ICタグ）に書き込み、各工程に設置されたアンテナで情報を読み出します。

事例番号：323

客先別、工程ごとの情報をRFタグ（ICタグ）に持たせ、客先別にウェハを管理し、工程ごとの指示が可能になります。

・手書き、端末入力を用いた場合の入力ミス、ポカミスを軽減できます。
・管理をペーパレス化できます。