ウェットプロセスの洗浄液がかかる環境でガラスの安定検出

Japan

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用途・事例集

洗浄液に強いファイバセンサと水滴の影響を受けない専用ファイバアンプです。

ガラス基板の洗浄工程でガラス基板の通過検出をしています。
洗浄液に強く、メカニカルな調整が不要なファイバセンサで、検出範囲が広いのでガラスとの位置調整が簡単です。
新発想水滴キャンセルタフモードを搭載した専用ファイバアンプにより液体の飛散に強い余裕の安定検出を実現しました。

事例番号：266

ウェットプロセスの洗浄液に影響されず、簡単に取り付けられるセンサがありませんでした。
また、センサに水滴がかかり、水滴の影響で安定検出できませんでした。

ファイバセンサはメカニカルな調整を必要とせず、検出範囲が広いので、簡単取付ができます。
ファイバアンプの水滴の影響を受けない水滴キャンセルタフモードにより安定検出ができます。

ウェットセンサ E32-L11FP / E32-L1□FS / E3X-DA□□TG-S: ウェットプロセスでのガラス安定検出。非接触で、簡単取付、簡単メンテナンス